ナノ3D光干渉計測システム VS1800 新機能②【測定】作業性の向上

多点測定・画像連結機能

指定された複数座標ポイントの連続自動測定やスティッチング測定または、等間隔測定を行う機能です（自動ステージ+ VS-Measure ）。任意測定ポイントは、最大10,000視野まで測定可能です。

指定座標を設定することで、連続多点測定が行えます。データ一括解析と組み合わせることでデータ解析、数値出力まで完全自動実行を実現しました。

XY電動ステージと電動レボルバ装着時に搭載されるパターンマッチング機能との組み合わせによって、自動多点測定時の位置ずれ補正が行えます。　微細部位へのピンポイント自動測定を実現します。

画像連結による複数視野測定の場合、画像の繋ぎ合わせ精度を高めるため、ステージの位置決めは重要です。VS1800では、高精度ステージの搭載により、精度の高いスティッチング画像が生成でき、画像連結においても高いZ分解能を維持することが可能です。