ナノ3D光干渉計測システム VS1800 新機能③【解析】データ処理の向上
データ一括解析
再現良く、ハイスループット測定が可能な計測機VS1800。VS1800搭載の解析ソフトウェアVS-Viewerは、直感的操作で、多くの計測データ処理をサポートします。
ISO 25178 パラメータ比較ツール
ISO 25178パラメータはサンプル表面の凹凸の大きさや形状の方向性といった表面性状を表すパラメータです。しかし、非常に多数の項目が設定されており、評価したいサンプルにおいてどのパラメータが最適であるかを選択することは容易ではありません。VS1800に標準搭載されているISO 25178パラメータ比較ツールは、多数のパラメータから最適なパラメータの選択をサポートする機能です。
Ssk 高さ分布の歪度（高さパラメータ）
Oリングシール面表面 正常品・異常品の比較
Sskは表面の高さ分布の対称性を表すパラメータです。異常品のパラメータS s k はマイナス側の値を示していることから、表面に溝形状が多く存在しその分布がリーク発生に影響を及ぼしていると考えられます。
