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日立ハイテク
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電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000

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空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡「HD-2700」搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡「HD-2700」搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。

* 2ndモニタオプション付き、モニタ画面は、はめ込み合成です。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

特長

  1. 日立製照射系球面収差補正器(自動補正機能付き)を標準搭載
  2. 高輝度・高安定コールドFE電子銃を搭載
  3. 鏡体や電源等の高安定化による本体性能向上
  4. 収差補正SEM/STEM像同時観察と、原子分解能SE像観察
  5. 新型サイドエントリー試料ステージ機構、試料ホルダの採用
  6. 大立体角EDX*のデュアル対向配置(シンメトリーDual SDD*)に対応
  7. 新構造の本体エンクロジャー・カバーを採用
  8. 各種日立製高機能ホルダ*をラインアップ

* オプション

高輝度コールドFE電子銃×高安定化×日立製球面収差補正器

長年の実績のある高輝度コールドFE電子源の技術をベースに見直しを行い、電子銃のさらなる高安定化を実現しました。
さらに、サブÅの像観察に対応すべく、鏡体、電源系、試料ステージを一新し、機械的・電気的安定度を高めた上で、日立製照射系球面収差補正器と組合せました。
より高輝度で細いプローブが、より安定して得られるだけでなく、自動収差補正機能により迅速に補正が行え、装置本来の性能を容易に引き出せます。収差補正をより実用的にご利用いただけます。

Si(211)単結晶のHAADF-STEM像(左)と、像強度プロファイル(右下)、FFTパワースペクトル(右上)
Si(211)単結晶のHAADF-STEM像(左)と、像強度プロファイル(右下)、FFTパワースペクトル(右上)

大立体角EDX*のシンメトリーDual SDD*に対応

100 mm2 SDD検出器のデュアル配置に対応し、さらに高い感度とスループットでEDX元素分析が行えます。
2本目の検出器は、1本目の検出器に対して対向位置に配置されるため、試料傾斜によるX線トータルでの信号検出量の変化がほとんどありません。そのため結晶性試料であっても、信号量に気兼ねなく、試料方位の合った状態で元素分析が行えます。
また、電子線に弱い試料や、X線放出量の少ない試料、原子カラムマッピングにも有効なほか、低倍広視野での高精細マッピング等にもご利用いただけます。

GaAs(110)の原子カラムEDXマッピング
GaAs(110)の原子カラムEDXマッピング

収差補正SEM像/STEM像 同時観察

二次電子検出器を標準搭載しており、収差補正SEM/STEM像の同時観察が行えます。試料表面と内部構造の同時観察により、3次元的な試料構造の把握が可能です。
収差補正SEM像では、球面収差補正による分解能向上に加え、試料表面のより忠実な像が得られます。

Au/CeO2触媒のSEM/ADF-/BF-STEM像(上段)とAu粒子の高分解能像(下段)
Au/CeO2触媒のSEM/ADF-/BF-STEM像(上段)とAu粒子の高分解能像(下段)

仕様

主な仕様

項目内容
電子源 W(310)冷陰極電界放出形
加速電圧 200 kV、60 kV*1
像分解能STEM 0.078 nm(ADF-STEM像)
TEM 0.102 nm(格子像)
倍率STEM ×20~×8,000,000
TEM ×100~×1,500,000
試料微動試料ステージ ユーセントリックゴニオメータ5軸ステージ
試料サイズ 3 mm Φ
移動範囲 X, Y=±1.0 mm, Z=±0.4 mm
試料傾斜 α=±25°、β=±35°(日立2軸傾斜試料ホルダ*1
収差補正器 日立製照射系球面収差補正器(標準搭載)
画像表示 モニタ 27型ワイド液晶ディスプレイ(本体制御モニタ, 2ndモニタ*1
カメラ 標準搭載リトラクタブルカメラ
スクリーンカメラ*1(蛍光板観察用)

本体寸法/質量

項目 幅×奥行×高さ(mm) 質量(kg)
鏡体部(電子銃含む) 1,060×1,742×2,970 2,300
本体カバー 1,678×1,970×3,157 410
操作卓 1,400×819×740 160
拡張操作卓*1 580×819×740 53
FEタンク 1,041×840×1,317 520
V0タンク 398×630×1,046 180
制御電源 1,400×693×816 190
収差補正器電源 606×529×1,096 90
排気系電源 913×663×1,790 470
偏向系電源 913×663×1,790 430
ウェイト 280×130×130 25
Gatanコントローラ*1*2 576×648×1,173 150
冷却水制御ユニット 470×540×350 30
冷却水循環装置*1*2 518×724×1,371 95
ドライポンプ*1 252×400×336 23
エアーコンプレッサ*1 275×560×576 25

据付条件

項目 内容
室温 15~23℃(温度変化:0.2℃/h以内)
湿度 40~60% RH
電源 本体 単相AC200~240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA
ブレーカ容量 50 A
冷却水循環装置*1*2 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
接地 D種接地(100 Ω以下)
冷却水 水量 5.1~5.3 L/min 1系統、2.0~2.2 L/min 1系統
(水圧0.25 MPa)
水温 16~18℃(変動:±0.1℃以内)
ガス SF6 99.9%以上、0~500 kPa
ドライ窒素 99.99%以上、0~500 kPa
圧縮空気 600 k~800 kPa

ご購入前に設置予定場所の振動、磁場、騒音を測定し、許容値を超える場合は必ず個別にご相談ください。 許容値は別途お問い合わせください。

*1 オプション。

*2 仕様、サイズはメーカ、モデル、構成により異なります。

レイアウト例

レイアウト例

* 上記構成(メンテナンス器具含む)では全設備質量は、約5,500kgになります。

* 床強度(kg/m2)>3×全設備質量(kg)/床面積(m2)であることをご確認ください。

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