コンダクターエッチング装置
エッチング装置の製品ラインアップを紹介いたします。
コンダクターエッチング装置 9000シリーズ
次世代デバイスプロセスに対応するため、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した各種チャンバを搭載可能とすることで、最先端デバイスに対応した拡張性と柔軟性のあるプロセスを提供いたします。
コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズ
マイクロ波ECR方式の高密度プラズマに加え、低温エッチング技術、TM（Time Modulation）バイアス技術の適用により、堆積性の低いクリーンなプロセスの採用が可能となり、滑らかな側壁形状を実現し、高い量産性を提供します。