コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズ
仕様
| 対応ウェーハ径 | 150mm、200mm |
|---|---|
| 装置構成 | 最大2エッチング＋2後処理チャンバ搭載可能 |
* 一部仕様は写真と異なる場合があります。
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