成分分析

P&T-GCMS法

恒温槽内の石英チャンバにサンプルを入れて加熱し、揮発してくるガスを吸着管に捕集し測定します。

TDSは800℃まで昇温できるため、ウェーハ表面の成分だけでなく膜中からの脱ガス成分まで分析することができます。

TENAX吸着管法は、雰囲気中の有機物を分析する代表的な方法で、低沸点化合物から高沸点化合物まで幅広く分析することができます。

VPD-ICPMS法：回収液を直接ICPMSやZAAで測定します。

専用揮発試験容器、石英容器内に材料を入れ、容器全体を加熱しガスを流します。

インピンジャーと呼ばれる石英容器内に純水を入れ、吸引ポンプで一定時間雰囲気を吸引し、純水に雰囲気中の不純物をバブリング水捕集させます。

この分析法は、処理袋と抽出・溶解液の選択により、複数の成分を測定することができます。

洗浄済の処理袋内に材料と不純物を抽出・溶解する液を入れ、密封処理をします。