ページの本文へ

日立ハイテク
  1. Home
  2. 製品サービス・ソリューション
  3. 半導体製造装置
  4. その他サービス
  5. 成分分析
  6. 半導体プロセス関連 分析・評価業務のご提供
  7. TENAX吸着管法

TENAX吸着管法

手順

  1. 活性炭系の吸着剤(TENAX)を入れた吸着管に吸引ポンプなどを用いて吸引します。
  2. 1.のTENAX吸着管を、P&T-GCMSで沸点の順に分離できるカラムで分離し測定します。

TENAX吸着管法は、雰囲気中の有機物を分析する代表的な方法で、低沸点化合物から高沸点化合物まで幅広く分析することができます。

TENAX吸着管法

ご相談・お問い合わせ先

お問い合わせ