ウェーハ不純物の袋抽出法
手順
- 洗浄済の処理袋内にウェーハと不純物を抽出・溶解する液を入れ、密封処理をします。
- 1.の処理袋を加熱して、ウェーハ上（膜中）の不純物を液中に抽出・溶解します。
- 2.の液を、金属不純物はICPMSやZAAで測定、イオン性不純物はICGで測定します。
この分析法は、処理袋と抽出・溶解液の選択により、複数の成分を測定することができます。
この分析法は、処理袋と抽出・溶解液の選択により、複数の成分を測定することができます。
