電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000
空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM
0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。
0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。
* 2ndモニタオプション付き、モニタ画面は、はめ込み合成です。
価格：お問い合わせください
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
特長
- 日立製照射系球面収差補正器（自動補正機能付き）を標準搭載
- 高輝度・高安定コールドFE電子銃を搭載
- 鏡体や電源等の高安定化による本体性能向上
- 収差補正SEM/STEM像同時観察と、原子分解能SE像観察
- 新型サイドエントリー試料ステージ機構、試料ホルダの採用
- 大立体角EDX*のデュアル対向配置（シンメトリーDual SDD*）に対応
- 新構造の本体エンクロジャー・カバーを採用
- 各種日立製高機能ホルダ*をラインアップ
* オプション
高輝度コールドFE電子銃×高安定化×日立製球面収差補正器
長年の実績のある高輝度コールドFE電子源の技術をベースに見直しを行い、電子銃のさらなる高安定化を実現しました。
さらに、サブÅの像観察に対応すべく、鏡体、電源系、試料ステージを一新し、機械的・電気的安定度を高めた上で、日立製照射系球面収差補正器と組合せました。
より高輝度で細いプローブが、より安定して得られるだけでなく、自動収差補正機能により迅速に補正が行え、装置本来の性能を容易に引き出せます。収差補正をより実用的にご利用いただけます。
大立体角EDX*のシンメトリーDual SDD*に対応
100 mm2 SDD検出器のデュアル配置に対応し、さらに高い感度とスループットでEDX元素分析が行えます。
2本目の検出器は、1本目の検出器に対して対向位置に配置されるため、試料傾斜によるX線トータルでの信号検出量の変化がほとんどありません。そのため結晶性試料であっても、信号量に気兼ねなく、試料方位の合った状態で元素分析が行えます。
また、電子線に弱い試料や、X線放出量の少ない試料、原子カラムマッピングにも有効なほか、低倍広視野での高精細マッピング等にもご利用いただけます。
収差補正SEM像/STEM像 同時観察
二次電子検出器を標準搭載しており、収差補正SEM/STEM像の同時観察が行えます。試料表面と内部構造の同時観察により、3次元的な試料構造の把握が可能です。
収差補正SEM像では、球面収差補正による分解能向上に加え、試料表面のより忠実な像が得られます。
仕様
主な仕様
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 電子源 | W（310）冷陰極電界放出形 | |
| 加速電圧 | 200 kV、60 kV*1 | |
| 像分解能 | STEM | 0.078 nm（ADF-STEM像） |
| TEM | 0.102 nm（格子像） | |
| 倍率 | STEM | ×20～×8,000,000 |
| TEM | ×100～×1,500,000 | |
| 試料微動 | 試料ステージ | ユーセントリックゴニオメータ5軸ステージ |
| 試料サイズ | 3 mm Φ | |
| 移動範囲 | X, Y＝±1.0 mm, Z=±0.4 mm | |
| 試料傾斜 | α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜試料ホルダ*1） | |
| 収差補正器 | 日立製照射系球面収差補正器（標準搭載） | |
| 画像表示 | モニタ | 27型ワイド液晶ディスプレイ（本体制御モニタ, 2ndモニタ*1） |
| カメラ | 標準搭載リトラクタブルカメラ スクリーンカメラ*1（蛍光板観察用） |
|
本体寸法/質量
| 項目 | 幅×奥行×高さ（mm） | 質量（kg） |
|---|---|---|
| 鏡体部（電子銃含む） | 1,060×1,742×2,970 | 2,300 |
| 本体カバー | 1,678×1,970×3,157 | 410 |
| 操作卓 | 1,400×819×740 | 160 |
| 拡張操作卓*1 | 580×819×740 | 53 |
| FEタンク | 1,041×840×1,317 | 520 |
| V0タンク | 398×630×1,046 | 180 |
| 制御電源 | 1,400×693×816 | 190 |
| 収差補正器電源 | 606×529×1,096 | 90 |
| 排気系電源 | 913×663×1,790 | 470 |
| 偏向系電源 | 913×663×1,790 | 430 |
| ウェイト | 280×130×130 | 25 |
| Gatanコントローラ*1*2 | 576×648×1,173 | 150 |
| 冷却水制御ユニット | 470×540×350 | 30 |
| 冷却水循環装置*1*2 | 518×724×1,371 | 95 |
| ドライポンプ*1 | 252×400×336 | 23 |
| エアーコンプレッサ*1 | 275×560×576 | 25 |
据付条件
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 室温 | 15～23℃（温度変化：0.2℃/h以内） | |
| 湿度 | 40～60% RH | |
| 電源 | 本体 |
単相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA ブレーカ容量 50 A |
| 冷却水循環装置*1*2 | 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A | |
| 接地 | D種接地（100 Ω以下） | |
| 冷却水 | 水量 |
5.1～5.3 L/min 1系統、2.0～2.2 L/min 1系統 （水圧0.25 MPa） |
| 水温 | 16～18℃（変動：±0.1℃以内） | |
| ガス | SF6 | 99.9%以上、0～500 kPa |
| ドライ窒素 | 99.99%以上、0～500 kPa | |
| 圧縮空気 | 600 k～800 kPa | |
ご購入前に設置予定場所の振動、磁場、騒音を測定し、許容値を超える場合は必ず個別にご相談ください。 許容値は別途お問い合わせください。
*1 オプション。
*2 仕様、サイズはメーカ、モデル、構成により異なります。
レイアウト例
* 上記構成(メンテナンス器具含む)では全設備質量は、約5,500kgになります。
* 床強度（kg/m2）＞3×全設備質量（kg）/床面積（m2）であることをご確認ください。
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