집속 이온 빔 (FIB/FIB-SEM)

[Ethos]는 히타치하이테크 코어 기술인 고휘도 냉음전계방출형 전자총과 신개발 전자계 중량형 렌즈로 저가속전압에서 고분해능 관찰을 가능하게하여 리얼타임 FIB가공,관찰을 양립 시켰습니다.

FIB에 의한 단면 제작과 SEM 관찰을 자동으로 반복함에 따라 단면 Image를 연속으로 수집하여 특정 미소 부분을 3차원 구조로 재구축할 수 있습니다.

궁극의 TEM 시료 제작을 목표로 최첨단 Device 및 나노 재료의 평가・해석에 있어서 FIB-SEM은 필수불가결한 Tool이 되고 있습니다.

신형 광학계 탑재로 세계 최고 수준의 SIM Image 분해능・대전류 대응에 따른 가공 스피드 향상・저가속 전압 관찰 시의 분해능 향상으로 더욱 품질 높은 TEM 시료 제작을 실현한 고성능 집속 이온 빔 (FIB) 장비입니다.

Micro Sampling은 FIB 가공 장비 내에서 이온 빔과 Probe를 사용하여 Bulk 시료의 임의 위치로부터 Micro Sample을 적출할 수 있는 시스템입니다.

CAD Navigation System(CAD-Navi)를 사용하면 SEM 또는 FIB에서 관찰 중인 LSI의 배선이 CAD 데이터의 어느 배선에 대응하는지를 확인할 수 있습니다.