Micro Sampling® 시스템

Micro Sampling은 FIB 가공 장비 내에서 이온 빔과 Probe를 사용하여 Bulk 시료의 임의 위치로부터 Micro Sample을 적출할 수 있는 시스템입니다.
Micro Sampling을 사용하면 Bulk 시료에서 Sub-Micron의 높은 위치 정밀도로 직접 수 µm~수십 µm의 Micro Sample을 추출할 수 있습니다.
본 시스템은, 발표 이래 전자현미경용 박막 시료 제작에 빼놓을 수 없는 기술로, 국내외로부터 높은 평가를 받고 있습니다.

특징 시스템 구성 예시 관찰 사례 Micro Sampling®의 역사

특징

Micro Sampling® Unit와 FIB Micro Sampling 법

FIB Micro Sampling 예시

반도체 Device의 Bulk 시료에서 분석 위치를 포함한 Micro Sample을 직접 적출하여 필러 (기둥) 모양으로 가공하였습니다.
집속 이온 빔의 주사형상을 변경함에 따라 시료를 임의의 크기로 적출하여 다양한 형상으로 가공할 수 있습니다.

* 「Micro Sampling」은 일본 국내의 등록 상표입니다.

시스템 구성 예시

FIB-STEM 시스템

FB2200 또는 NB5000을 투과 능력이 높은 주사투과전자현미경 (HD-2700, 가속전압: 200 kV)와 조합하여 반도체 Device의 불량 해석이나 각종 첨단 재료의 나노구조 해석을 단기간에 실행할 수 있습니다.

관찰 사례

니들 스테이지 상에서의 Micro Pillar SEM Image 관찰 사례

Micro Pillar Sample의 명시야 STEM Image 관찰 사례

Micro Sampling®의 역사

1991년	히타치 제작소 중앙연구소에서 FIB를 통한 반도체 레이저 소자의 TEM 시료 제작에 성공
1991년	J. Szot, R. Hornsey, T. Ohnishi and S. Minagawa J.Vac.Sci.Technol. B10, 575
1994년	집속 이온 빔 가공관찰장비 FB-2000 발매. FIB/TEM 공용 홀더를 탑재 (세계 최초)
1994년	T. Ishitani, H. Tsuboi, T. Yaguchi and H. Koike J. Electron Microsc 43, 322, 외
1996년	FB-2000A 발매
1999년	TEM 시료 제작 전처리 장비 「Micro Sampling® 시스템」을 발매 (세계 최초)
2001년	「전자현미경용 Micro Sampling 기술의 개발」로 제21회 정밀공학회 기술상 수상
2002년	40 kV 집속 이온 빔 가공관찰장비 FB-2100 발매
2007년	신형 Micro Sampling® 시스템 탑재 집속 이온/전자 빔 가공관찰장비 NB500 발매