고성능 집속 이온 빔(FIB) 장비 MI4050
![고성능 집속 이온 빔(FIB) 장비 MI4050](/kr/ko/media/em-mi4050_main_png_tcm40-24958.png)
신형 광학계 탑재로 세계 최고 수준의 SIM Image 분해능・대전류 대응에 따른 가공 스피드 향상・저가속 전압 관찰 시의 분해능 향상으로 더욱 품질 높은 TEM 시료 제작을 실현한 고성능 집속 이온 빔 (FIB) 장비입니다.
단면 가공 관찰, 고품질 TEM 시료 제작, 회로 수정, 벡터 스캔 가공, Micron~Nano 수준의 미세 Patterning 및 나노 금형 가공, Deposition을 통한 3차원 구조물의 제작 등 다종・다양한 샘플과 Application을 실현합니다.
특징
최대 Probe 전류 90 nA에 의한 가공 고속화와 대면적 가공을 실현
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Wire Bonding의 단면 가공
(가공 크기 폭: 95 µm 깊이: 55 µm 가공 시간 20분)
극저가속전압 (0.5 kV~) 가공 및 저가속전압 시의 2차전자 Image 분해능 향상을 통해 더욱 Low Damage TEM 시료 제작 가능
* 1 kV 이하는 옵션
2차전자 Image 분해능 4 nm@30 kV를 통한 고분해능 SIM Image 관찰 가능
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![-](/kr/ko/media/em-mi4050_03_jpg_tcm40-24953.jpg)
알루미늄 캔의 단면 SIM Image
높은 정밀도의 5축 전동 Mechanical Eucentric Stage 채용
Stage 이동(및 Tilt)을 동반한 복수 위치의 다양한 가공이 자동 운전으로 가능합니다.
뛰어난 조작성과 풍부한 가공 모드
- 단면 제작 프로그램 가공
- TEM/STEM 시료 프로그램 가공
- 연속 자동 가공
- 연속 TEM 시료 자동 완성 가공 소프트웨어
- Bitmap 가공
- 벡터 스캔 가공
- 3D 나노 정밀 구조물 제작 외 기타
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시료 제공: 효고현립대학 마츠이 신지
SIM Image의 3D 재구축 해석
동일 간격의 슬라이스 단면 가공과 관찰을 반복하여 여러 장의 단면 SIM Image를 취득 후 재구축할 수 있습니다. 복합 입자 분산 상태나 빈 공간과 같은 3차원 정보를 가시화하는 경우 등에 유용합니다.
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멀티 가스 공급 시스템 (MGS-II) 를 사용한 회로 수정
보호막 재료, 배선 재료, 절연막, 증속 Etching 등 다양한 용도에 맞추어 여러 가지 가스를 조사(照射)할 수 있는 시스템입니다.
- 텅스텐 Deposition 가스
- Platinum Deposition 가스
- 절연막 생성용 Deposition 가스
- XeF2 Etching 가스
- 유기계 Etching 가스
- 카본 Deposition 가스
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풍부한 좌표 Linkage 기능
히타치 하이테크 사이언스 독자의 풍부한 좌표 Linkage 기능을 통해, 가공 위치를 정확히 지정할 수 있으며, 큰 폭으로 시간을 단축할 수 있습니다.
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광학현미경 Image와 SIM Image의 Linkage
더블 커서 기능
일본 특허 제 4634134호 미국 특허 제 7595488호 -
결함 검사 장비와의 좌표 Linkage
절단된 Wafer나 Chip에서도 결함검사장비와의 좌표 Linkage가 가능합니다. - CAD Navigation 시스템과의 Linkage
사양
항목 | 내용 |
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시료 크기 | 50 mm×50 mm×12 mm (t) 이하 |
시료 Stage | 5축 전동 Eucentric Stage |
가속 전압 | 1~30 kV (0.5 kV~ 옵션) (0.5~1.0 kV: 0.1 kV Step에서 변경 가능) (1.0~2.0 kV: 0.2 kV Step에서 변경 가능) |
2차전자 관찰 Image 분해능 | 4 nm@30 kV |
최대 Probe 전류 | 90 nA |
최대 Probe 전류 밀도 | 50 A/cm2 |
특별 부속품 (옵션)
- 4 ch 멀티 가스 공급 시스템 II
- 연속 자동 가공 소프트웨어
- TEM 시료 자동 가공 소프트웨어
- Manipulator 현미경 외 기타
* 기타 MI 시리즈의 풍부한 옵션도 선택할 수 있습니다.
Hitachi FIB Application Data
This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.