高精細アライメント
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
アライメントステージ特長
- 高分解能: 0.1μm (実働分解能)
- 長Stroke: XY ±10mm, Θ ±49mrad
- 高負荷: 高推力 Type Linear Motor採用
- 薄型／高剛性: UVWR方式 (4軸駆動)
ご参考(有機EL用マスク組立装置)
マスク組立装置仕様
| 項 目 | 仕 様 |
|---|---|
| マスクフレーム | G6H(＋G4.5Hマスク×4) |
| 位置決め方式 | ガラスマスター方式 |
| 固定方式 | レーザー溶接 |
| 装置サイズ | 装置本体 : 7.0×4.0×H3.4m (サーマルチャンバー) （電装盤ほか突起物除く） フットプリント : 15×10m |
| 環境 | 装置設置環境 : 23±1.5℃, 40~55%RHのクリーンルーム : 振動 VC-C以上 装置内環境 : 設定温度 23℃ |
| 重量 | 約24t |
| テーパー加工 | 別途御相談 |
