フォトマスクリペア装置 MRシリーズ
特長
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FPDマスクに対応
最大1400×1600mmの大型フォトマスクに対応可能です。 -
高い結合力を持つフィルムを形成可能
特別なガスを使用することで、Crフィルムに勝るとも劣らない高い結合力を持ったフィルムをマスク上に形成できます。 -
グレートーンマスク修正への対応
FIBのカーボンデポジション機能により、ハーフトーン膜を用いたグレートーンマスク上の白欠陥も修正できます。
仕様
| マスクサイズ | 最大：1400×1600mm 最少：6インチ 最大厚さ：15mm 最少厚さ：5mm |
|---|---|
| 修正精度 | 50nm@3σ |
| 白欠陥修正方法 | FIBカーボンデポジション |
| 黒欠陥修正方法 | ガスアシストエッチング |
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