イオンスパッタ MC1000
特長
- LCDタッチパネルにより指先ひとつで電流・時間などの条件設定が可能
- 設定した条件の保存・読み出しが可能なレシピ機能を標準装備
- オプション装着により厚い試料や大型の試料に対応可能
仕様
項目 | 内容 | |
---|---|---|
放電 | 方式 | ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形) |
電極形状 | 対向平行円板(マグネット埋込み) | |
電圧 | 最高電圧DC 0.4 kV(位相制御にて可変) | |
電流 | 最大電流DC 40 mA(設定範囲:5~40 mA) | |
コーティングレート (参考値*1)最大値: <条件> 真空度:7 Pa 放電電流:40 mA 試料間距離:20 mm |
Ptターゲット 15 nm/min Pt-Pdターゲット 20 nm/min Auターゲット 35 nm/min Au-Pdターゲット 25 nm/min |
|
コーティング時間 | 5~300秒 | |
試料サイズ | 最大試料径 | φ60 mm |
最大試料高さ | 20 mm | |
排気ポンプ | ロータリーポンプ 135/162 L/min(50/60 Hz) | |
ターゲット(Φ63 mm)(別売品) | Pt、Pt-Pd(8:2)、Au、Au-Pd(6:4) | |
所要電源 | 単相AC 100 V(±10%) 15 A(50/60 Hz) | |
外形寸法(本体) オプション非装着時 | 幅 | 450 mm |
奥行 | 391 mm | |
高さ | 391 mm | |
質量 | 本体:約 22 kg、ロータリーポンプ:約 30 kg カーボンコーティングユニット:約 26 kg |
*1 コーティングレートは参考値であり、条件によって変わります。
標準内訳
項目 | 内容 |
---|---|
本体 | 1 |
ロータリーポンプ | 1 |
標準付属品 | 1式 |
取扱説明書 | 1 |
設置条件
項目 | 内容 |
---|---|
室温 | 15~30℃ |
湿度 | 45~85%以下(結露しないこと) |
電源 | 単相AC100V(±10%)、50/60Hz、1.5kVA D種接地、接地抵抗100Ω以下付専用開閉器 (漏電検知器(中感度遅延形付)が配置された3Pコンセント(コード長3 m)) |
お客様準備品
項目 | 内容 |
---|---|
Arガス圧力 | 0.03~0.05 Mpa |
Arガス導入配管*2 | 1/4インチSUS配管(1/4スウェージロック対応2 m以内)、レギュレータ |
酸素濃度計*3 | 酸素濃度19%以上が確認できるもの |
推奨テーブル | 550(W)×550(D)×700(H)(mm)以上、設置テーブルの強度が機器の質量に耐えること |
*2
Arガス供給設備(Arガスボンベ)と装置間をつなぐ配管です。
供給設備(Arガスボンベ)用の調圧器と合わせてご準備ください
*3 アルゴンガスは窒息性がありますので、設置場所には酸素濃度計および換気設備をご準備ください
特別付属品(オプション)
項目 | 内容 |
---|---|
膜厚温調機能*4 | 膜厚設定範囲:1~30 nm 温度設定範囲:室温~(室温-25)℃ 、安定度±1℃ 以内 |
大型チャンバー*5 | 最大搭載サイズ:φ150 mm、最大試料高さ:20 mm |
45 mm スペーサー*6 | 最大試料サイズ:φ60 mm、最大試料高さ:45 mm |
カーボンコーティングユニット | 蒸着源:カーボンロッド焼き切り |
*4 水晶発振子による質量膜厚です。後付け不可。大型チャンバー非対応。
*5 後付け不可
*6 標準チャンバー専用
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