計測ソリューション

計測ソリューションのラインアップをご紹介いたします。

高精度電子線計測システム GT2000

High-NA EUV世代のデバイス開発と量産におけるニーズに応えたCD-SEM

EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM

高加速電圧60kVのインラインCD計測SEM装置

高加速電圧45kVのインラインCD計測SEM装置

高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム

CS4800は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMです。