ページの本文へ

日立ハイテク
  1. Home
  2. 製品サービス・ソリューション
  3. 半導体製造装置
  4. 計測装置・検査装置
  5. 計測ソリューション
  6. 高加速測長SEM装置 CV6300 Series

高加速測長SEM装置 CV6300 Series

高加速測長SEM装置 CV6300 Series
  • 96層以降の3D-NAND製造に必要な深穴・深溝の高精度寸法計測を実現
  • 先端のDRAMやロジックデバイスでの高精度なオーバーレイ計測を実現
お問い合わせ

特長

  • 高加速電圧45kVのインラインCD計測SEM装置
  • スループットを従来比25%向上
  • 寸法・オーバーレイの計測精度を向上し、さらに装置間計測ばらつきを低減

関連リンク

お客様のデバイス別インデックス
半導体の部屋
該非判定書のお問合せについて

お問い合わせ

お問い合わせ
一つ上のページに戻る
ページ先頭へ

関連コンテンツ

日立ハイテク

日立ハイテクトップ

製品ソリューション

技術情報

サポート情報

ニュース・イベント

企業情報

採用情報