ページの本文へ

日立ハイテク
  1. Home
  2. 製品サービス・ソリューション
  3. 半導体製造装置
  4. 計測装置・検査装置
  5. 計測ソリューション
  6. 電子線高速広領域検査システム GS1000

電子線高速広領域検査システム GS1000

電子線高速広領域検査システム GS1000

高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム

お問い合わせ

特長

  • 高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム
  • 収差補正とScan歪み補正技術で、高分解能な広範囲一括画像取得(80um x 80um)と画像内均一性精度(<0.02%)を両立
  • SEM画像と設計データの比較手法を用いた高速多点検査計測で、多様なプロセス・イールド相関解析を実現
  • 人工知能（AI)技術を統合した解析エンジンにより、高速で高度なプロセス・イールド管理が可能（開発計画)
-
-

関連リンク

お客様のデバイス別インデックス
半導体の部屋
該非判定書のお問合せについて

お問い合わせ

お問い合わせ
一つ上のページに戻る
ページ先頭へ

関連コンテンツ

日立ハイテク

日立ハイテクトップ

製品ソリューション

技術情報

サポート情報

ニュース・イベント

企業情報

採用情報