ページの本文へ

日立ハイテク
  1. Home
  2. 製品サービス・ソリューション
  3. 半導体製造装置
  4. 計測装置・検査装置
  5. 計測ソリューション
  6. 高分解能FEB測長装置 CG7300

高分解能FEB測長装置　CG7300

高分解能FEB測長装置 CG7300

EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM

お問い合わせ

特長

  • EUV量産世代に対応する多様な高精度且つ高信頼性計測を実現
  • 原子サイズレベルの機差最小化で、高信頼性プロセス管理を実現（装置間マッチングの従来機種比約10%向上）
  • 耐環境性能向上と高速スキャン方式の帯電制御で、よりクリアで高解像度な画像取得が可能
  • 低倍率画像歪の改善で、高精度CD計測から広範囲CDU計測までの幅広い計測ニーズに対応
  • 高速搬送システムによる高スループット化とEdge Exclusion改善で生産性向上に貢献
プロセス管理及び装置マッチング運用概念図
プロセス管理及び装置マッチング運用概念図

関連リンク

お客様のデバイス別インデックス
半導体の部屋
該非判定書のお問合せについて

お問い合わせ

お問い合わせ
一つ上のページに戻る
ページ先頭へ

関連コンテンツ

日立ハイテク

日立ハイテクトップ

製品ソリューション

技術情報

サポート情報

ニュース・イベント

企業情報

採用情報