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高分解能FEB測長装置　CG7300

高分解能FEB測長装置 CG7300

EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM

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特長

  • EUV量産世代に対応する多様な高精度且つ高信頼性計測を実現
  • 原子サイズレベルの機差最小化で、高信頼性プロセス管理を実現（装置間マッチングの従来機種比約10%向上）
  • 耐環境性能向上と高速スキャン方式の帯電制御で、よりクリアで高解像度な画像取得が可能
  • 低倍率画像歪の改善で、高精度CD計測から広範囲CDU計測までの幅広い計測ニーズに対応
  • 高速搬送システムによる高スループット化とEdge Exclusion改善で生産性向上に貢献
プロセス管理及び装置マッチング運用概念図
プロセス管理及び装置マッチング運用概念図

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