Schottky 주사현미경 SU5000

SU5000 & EM Wizard가 창조하는 FE-SEM의 새로운 세계

SEM을 처음 사용하는 사용자에게도 「아름다운 Image를 얻을 수 있다는 체험」, 혼자서 성취하고 숙달될 수 있다는 「성공 체험」, 그리고 숙달된 사용자에게도 풍부한 기능을 제공하는 새로운 「체험」.
EM Wizard는 다양한 “User Experience”의 제공을 통하여 새로운 SEM의 즐거움과 재미를 개척하겠습니다.

특징 사양 관찰 사례

특징

고분해능・재현성・Throughput을 모든 사용자에게 제공하기 위해 새롭게 개발된 User Interface 「EM Wizard」

EM Wizard의 Standard Mode에서는 사용 빈도가 높은 5개의 Beam / 검출기 조건을 준비했습니다.
선택 화면에서 조건을 선택함으로써 광축 조정 등의 작업 없이 최적의 광학 조건으로 Image를 취득할 수 있습니다.

시료 위치를 더욱 알기 쉽게 표시하는 「Multi Finder」 탑재

Multi Finder를 사용하여 시료의 위치를 표시. 경사 / 회전을 추적하여 SEM Image나 Holder Image를 이동하며, 시야 찾기가 용이하도록 서포트합니다.

샘플 제한을 최소한으로 줄인 디자인

대형 시료 (~200 mmΦ, ~80 mmH)를 지원하는 Draw-out 시료실을 채용하여 시료실을 개방해도 대물 조리개가 오염되지 않도록 배려한 구조입니다.
가열・인장Stage 등 특수 Application에도 간편하게 대응 가능
Conical 대물 렌즈를 통하여 대형 자성체 시료 관찰이나 EBSD 측정도 더욱 원활하게 가능합니다.

강력한 광학계・검출계

저에너지 관찰 시의 분해능은 1.6 nm@1 kV^*1
고진공 / 저진공 모두 조사 전류는 최대 200 nA^*2
형상・조성・결정학적 정보를 추출하는 신개발 반사전자검출기 탑재^*3

*1 EX Deceleration Mode + TOP 검출기 옵션 탑재 시

*2 저진공 모드는 옵션입니다.

*3 반사전자검출기는 옵션입니다. (저진공 모드 구성일 경우 기본 부속)

사양

항목		내용
보증분해능		1.2 nm (가속 전압30 kV) 3.0 nm (가속 전압1 kV) 2.0 nm (조사전압1 kV: Deceleration Mode: 옵션) 1.6 nm (조사전압1 kV: EX Deceleration Mode: 옵션) 3.0 nm (가속 전압15 kV: 저진공 모드: 옵션)
배율		사진 배율: 10~600,000× 모니터 배율:18~1,000,000× (800 × 600화소)
전자총	전자총	ZrO / W Schottky Emission 전자총
	가속 전압	0.5~30 kV (0.1 kV Step)
	조사전압	0.1~20 kV (Deceleration Mode: 옵션)
	조사 Beam 전류	최대 200 nA
검출기		고진공용 Scintillator / Photomultiplier 2차전자검출기 (Lower 검출기)
저진공 모드^*2		압력 가변 범위: 10~300 Pa
시료 Stage	Stage 제어	5축 모터 구동
	이동범위	X: 0~100 mm Y: 0~50 mm Z: 3~65 mm T: -20~90° R: 360°
	시료 사이즈	최대 ~200 mmΦ, 최고 ~80 mm
검출기 옵션		고진공용 Scintillator / Photomultiplier 2차전자검출기 (Top 검출기)^1 고감도 저진공 검출기 (UVD) Retractable 반도체형 반사전자검출기 (PD-BSD) ^2 에너지 분산형 X선 검출기 (EDS) 파장 분산형 X선 검출기 (WDS) 후방산란전자회절도형검출기 (EBSD)