초고분해능 Schottky 주사전자현미경 SU8700

SU8700은 고공간 분해능과 다양한 신호 검출을 통한 관찰 성능으로 디바이스나 재료 분석에서 생명과학에 이르는 폭넓은 분야의 관찰 및 분석 업무를 지원합니다. Schottky FE 전자총을 탑재하여 극저가속 전압 관찰부터 대조사전류가 필요한 고속 분석까지 광범위한 분석 기법에 사용할 수 있습니다. 광학계의 자동 조정 기능과 데이터 취득 자동화 지원 옵션 기능을 탑재하여 대량의 데이터를 자동으로 얻을 수 있습니다.

* 장치 사진은 옵션 장착 상태입니다.

특징 사양

특징

다양한 관찰 조건을 적용할 수 있는 Schottky Emitter 탑재 FE-SEM

100V까지의 저가속 전압과 최대 200nA까지의 조사전류
저진공 모드에서도 사용 가능
다양한 정보를 취득하는 검출계

처리 능력을 향상하는 자동화 기능 탑재

SU8700은 광학계 자동 조정 기능을 탑재하고 있어 사용자의 조작 부하를 줄여줍니다. 또한 옵션 기능인 ‘EM Flow Creator’는 연속 화상 취득과 같은 자동 조작을 지원합니다. 배율이나 스테이지 위치 등의 조건 설정, 포커스/Contrast 조정 같은 SEM 기능을 블록화하고 이를 조합하여 일련의 관찰 레시피를 생성합니다.블록을 드래그 앤드 드롭한 다음 플로우와 같이 배치하여 레시피를 생성하고 이 레시피를 실행하여 자동관찰을 시작합니다.

사용성을 지원하는 다양한 표시 기능

SU8700은 듀얼 모니터를 사용할 수 있습니다. 듀얼 모니터 사용 시에는 1,280x960화소의 화상을 2개의 화면으로 표시할 수 있으며, 최대 6개 채널의 신호를 표시합니다. 또한, 최대 40,960x30,720화소의 화상 저장(*)을 통해 광범위한 영역의 고화질 정보를 얻을 수 있습니다.

광시야, 고화질 화상 취득

쥐의 대뇌피질 초박절편의 고화소 관찰 사례

시료 제공: 자연과학연구기구 생리학연구소 뇌기능계측 지원 센터 전자현미경실 및 쿠보타 그룹 쿠보타 요시유키 님

* 옵션

사양

전자광학계	2차 전자 분해능	0.6 nm@15 kV
		0.8 nm@1 kV
		0.9 nm@0.3 kV
	배율	20~2,000,000x
	전자총	Schottky Emitter
	가속전압	0.1~30kV
	조사전압(1)(3)	0.01~7kV
	조사전류	최대 200nA
	표준 검출기	Upper 검출기(UD)
		Lower 검출기(LD)
		Middle 검출기(MD)
검출기	옵션 검출기	반도체형 반사 전자 검출기(PD_BSED)
		고감도 저진공 검출기(UVD)
		STEM 검출기
	옵션 액세서리(*2)	에너지 분산형 X선 검출기(EDS)
	옵션 액세서리(*2)	전자선 후방 산란 회절 이미지 검출기(EBSD)
진공계	저진공 모드(*3)	5~300Pa
진공계	제어	5축 모터 드라이브
시료 스테이지	가동 범위
	X	0~110mm
	Y	0~110mm
	Z	1.5~40mm
	T	-5~70°
	R	360°
시료실	탑재 시료 사이즈	최대 φ150mm
시료실	시료 교환실	최대 φ150mm