초고분해능 전계방출형 주사전자현미경 SU8600
SU8600은 고공간 분해능과 다양한 신호 검출을 통한 관찰 성능으로 디바이스나 재료 분석에서 생명과학에 이르는 폭넓은 분야의 관찰 및 분석 업무를 지원합니다. 고휘도 COLD FE 전자총과 검출 신호 제어기능으로 Hight Contrast Image를 높은 분석능으로 제공합니다. 광학계의 자동 조정 기능과 데이터 취득 자동화 지원 옵션 기능을 탑재하여 대량의 데이터를 자동으로 얻을 수 있습니다.
* 장치 사진은 옵션 장착 상태입니다.
특징
저에너지 관찰 조건에서 초고분해능 이미지
고휘도 COLD FE 전자총으로 저에너지 조건에서도 높은 고분해능을 유지합니다. 세미인(semi-in) 렌즈형 대물렌즈와 ExB 광학계를 통한 고효율 신호 검출로 저에너지/저전류 조건에서도 높은 S/N의 화상을 제공합니다.
시료 제공: 산업기술종합연구소 카미무라 요시히로 님 RHO형 제올라이트의 표면미세구조(조사전압: 800V)
High Contrast의 저가속 반사 전자 이미지
ExB 광학계와 검출 신호 제어기능에 의해 목적에 따라 2차 전자/반사 전자 신호를 분리하여 화상 취득할 수 있습니다. 오른쪽 화상에서는 3D NAND 커패시터의 산화막과 질화막의 층 구조를 반사 전자의 조성 Contrast로 관찰하고 있습니다.
고속응답성 반사 전자 검출
신규 개발 신틸레이터형 반사 전자 검출기(OCD)는 응답 속도를 개선하여 관찰 부위를 더 쉽게 특정할 수 있습니다. 오른쪽 화상은 취득 시간이 1초 미만임에도, SRAM의 하층 배선과 Fin-FET의 구조를 확인할 수 있습니다.
(가속 전압: 30kV, 주사 시간<1초)
처리 능력을 향상하는 자동화 기능 탑재
SU8600은 광학계 자동 조정 기능을 탑재하고 있어 사용자의 조작 작업을 줄여줍니다. 또한 옵션 기능인 ‘EM Flow Creator’는 연속 화상 취득과 같은 자동 조작을 지원합니다. 배율이나 스테이지 위치 등의 조건 설정, 포커스/Contrast 조정 같은 SEM 기능을 블록화하고 이를 조합하여 일련의 관찰 레시피를 생성합니다. 블록을 드래그 앤드 드롭한 다음 플로우와 같이 배치하여 레시피를 생성하고 이 레시피를 실행하여 자동관찰을 시작합니다.
사용성을 지원하는 다양한 표시 기능
SU8600은 듀얼 모니터를 사용할 수 있습니다. 듀얼 모니터 사용 시에는 1,280x960화소의 화상을 2개의 화면으로 표시할 수 있으며, 최대 6개 채널의 신호를 표시합니다. 또한,최대 40,960x30,720화소의 화상 저장(*)을 통해 광범위한 영역의 고화질 정보를 얻을 수 있습니다.
SEM 신호 이외에도 내비게이션 화면(SEM MAP)이나 챔버스코프 화상도 표시할 수 있습니다.사용자 맞춤화 할 수 있는 GUI는 2개의 모니터를 사용하여 작업 공간을 확장하고 생산성 향상에도 기여합니다.
*옵션
사양
| 전자광학계 | 2차 전자 분해능 | 0.6nm@15kV |
|---|---|---|
| 0.7nm@1kV*1 | ||
| 배율 | 20~2,000,000x | |
| 전자총 | 냉음극 전계 방출형 전자총, Anode가열 Heater방식 |
|
| 가속전압 | 0.5~30kV | |
| 조사전압*1 | 0.01~20kV | |
| 검출기 | 표준 검출기 | Upper 검출기 (UD) (ExB 필터: SE/BSE 신호가변방식) |
| Lower 검출기(LD) | ||
| 옵션 검출기 | Top 검출기 (TD) | |
| In-Column Middle 검출기（IMD） | ||
| Scintilltor형 반사전자 검출기（OCD） | ||
| 반도체형 반사 전자 검출기（PD-BSED） | ||
| Cathode Luminescence 검출기(CLD) |
||
| STEM 검출기 | ||
| 옵션 액세서리*2 | 에너지 분산형 X선 검출기(EDS) | |
| 전자선 후방 산란 회절 이미지 검출기(EBSD) | ||
| 시료 스테이지 | 제어 | 5축 모터 드라이브 |
| 가동 범위 | ||
| X | 0~110mm | |
| Y | 0~110mm | |
| Z | 1.5~40mm | |
| T | -5~70° | |
| R | 360° | |
| 시료실 | 탑재 시료 사이즈 | 최대 φ150mm |
| 시료 교환실 | 최대 φ150mm |
*1 Retarding Mode사용 시
*2 설치 가능한 분석 기기
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