ALLIED 精密ミリング/ポリッシングシステム X-Prep™
特長
- 12″カラ―LCD、タッチスクリーン式グラフィックユーザーインターフェース。
- オペレーターは使いやすいウィザードに従って操作することで、X/Y/Z軸方向のミリング位置、ミリングパターン/ツールパス、ツールのオーバーラップなど、システムのセットアップを行えます。
- Gコーディングやプログラミングの知識は必要ありません。
- X/Y軸方向のミリング領域を設定するためのライブ映像ナビゲーション。
- 1ミクロン単位でのX/Y軸位置決め。
- 0.1ミクロン単位でのZ軸位置決め(精度:1ミクロン)。
- 0.15~10NのZ軸フォース制御。
-
2種類のZ制御モード
- 「フォース」モード:ツールが試料に既定の力を加え続けます。
- 「位置」モード:ツールが目標深度まで徐々にインデックス動作をします。
選択可能なミリングパターンとツールパスのオーバーラップは、全面にわたって除去が完了してから次に進みます。
- X/Y軸方向の動作と協調しながら、Z軸のツールが自動的に少しずつ前進するため、無人作業が可能です。
- ミリング領域の自動センタリングが可能です。
- ステップ/シーケンスに名前を付けて保存し、呼び出すことができます。
- 空気圧式コレットによりツールの交換がすばやくできます。
- スピンドルは5,000~100,000RPMが設定可能。 セラミックやシリコン、金属、ガラス等を研磨します。
- 15~20dBの静かな動作。
- 卓上サイズで省スペース。
- 100×100mmのミリング領域。
- 3mmまたは1/8″のシャンク×長さ1.5″(38mm)のツールを使用します(0.25mm~12mmの研磨チップ)。
仕様
項目 | 内容 |
---|---|
寸 法 | 533mm(幅)×686mm(奥)×622mm(高) |
重 量 | 84kg |
アクセサリー
電動レベリングステージ
レベリングステージは、試料の上面がミリング面と平行になるよう自動的に位置を調整します。 埋込用ワックスの変動で生じた試料の傾斜を補正する場合、または対象物(例:成形パッケージ内のダイ)が成形された上面と平行でない場合に使用します。
ご相談・お問い合わせ先
関連リンク
日立電子顕微鏡をご愛用いただいているお客様向けのコンテンツを提供する会員制サイト