ALLIED 精密研磨装置 MultiPrep™システム
特長
- 5種類の研磨が1台の装置で可能（平行研磨、断面研磨、TEM前処理用楔形研磨、FIB前処理研磨、裏面研磨）
- キャリブレーションキットを用いることにより、垂直・平行の校正がより容易にできます。
- ダイヤモンドラッピングフィルムを用いることにより、5µm精度の精密研磨が可能です。
- タッチパネル操作：プラテン回転速度、試料回転速度、試料スイープ操作の制御が可能です。
- デジタルインジケーター：試料の研磨量が1µm単位で直読が可能です。（断面研磨のみ）
仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 寸法 | 380mm（幅）×660mm（奥）×580mm（高） |
| 重量 | 57kg |
| プラテン回転速度 | 10～350rpm |
研磨イメージ（平行研磨）
設備環境
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 給水ホース | 外径0.25インチ（6.35mm） |
| 排水ホース | 内径1.25インチ（31.75mm） |
| 電 源 | 100V |
| 実験台 | 水平で耐荷重（50kg以上） |
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