Leica 高真空コーティング装置 EM ACE600

EM ACE600は、FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良い成膜をすることが出来ます。

可能な成膜方法：
スパッタリング、カーボンス蒸着、Ｅ-ビーム蒸着、グロー放電による親水化処理

価格：お問い合わせください

（製造元：ライカマイクロシステムズ株式会社）

取扱会社：株式会社日立ハイテクフィールディング

特長

高い再現性
水晶膜厚ユニットと自動制御の3軸可動の試料ステージなどを装備し、高度な自動成膜機構を有しています。
クリーニングのしやすさ
フロント・ドア、ソース・シャッター、チャンバーの内部遮蔽ユニット、および蒸着源とステージは着脱可能で、高品質サンプルを前処理するための清浄環境を確実にします。
コンパクト設計、小さな設置面積は、より有効に研究室スペースを活用いただけます。
簡単操作
直観的操作のタッチスクリーンを搭載。フロント・ドアは、快適なロック機能付きです。さらに、ターゲット交換はツール・レス、コネクタは、簡単なプッシュ操作で完了です。
カスタマイズ可能な多機能性
ACE600の構成には、多様なニーズを満たす選択性があります。
クライオ・コーティング
標準的な室温環境のコーティング装置に、オプションのクライオシステムを組み込むことが可能です。