前処理装置 - 蒸着 -
Leica 高真空コーティング装置 EM ACE600
EM ACE600は、FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良い成膜をすることが出来ます。
イオンスパッタ MC1000
EM マグネトロン電極の採用で試料をマイルドコーティング
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