전자현미경 (SEM/TEM/STEM)
히타치 하이테크 전자 현미경 (SEM / TEM / STEM) : 전계 방출 형 주사 전자 현미경 (FE-SEM), 주사 전자 현미경 (SEM) Miniscope® (탁상 현미경), 투과 전자 현미경 (TEM / STEM), 나노 프로 버 ®의 라인업을 소개합니다.
![초고분해능 전계방출형 주사전자현미경 SU9000](/kr/ko/media/SU9000%E2%85%A1_tcm40-61787.png)
초고분해능 전계방출형 주사전자현미경 SU9000
새롭게 개발한 전자총을 탑재하여 초고분해능 관찰을 실현하였으며, 전자선 관찰 시, 시료 Damage를 최소화하였습니다.
![초고분해능 Schottky 주사전자현미경 SU8700](/kr/ko/media/su8700_main_tcm40-57189.png)
초고분해능 Schottky 주사전자현미경 SU8700
SU8700은 고공간 분해능과 다양한 신호 검출을 통한 관찰 성능으로 디바이스나 재료 분석에서 생명과학에 이르는 폭넓은 분야의 관찰 및 분석 업무를 지원합니다. Schottky FE 전자총을 탑재하여 극저가속 전압 관찰부터 대조사전류가 필요한 고속 분석까지 광범위한 분석 기법에 사용할 수 있습니다. 광학계의 자동 조정 기능과 데이터 취득 자동화 지원 옵션 기능을 탑재하여 대량의 데이터를 자동으로 얻을 수 있습니다.
![초고분해능 전계방출형 주사전자현미경 SU8600](/kr/ko/media/su8600_main_tcm40-57046.png)
초고분해능 전계방출형 주사전자현미경 SU8600
SU8600은 고공간 분해능과 다양한 신호 검출을 통한 관찰 성능으로 디바이스나 재료 분석에서 생명과학에 이르는 폭넓은 분야의 관찰 및 분석 업무를 지원합니다. 고휘도 cold FE 전자총과 검출 신호 제어기능으로 Hight Contrast Image를 높은 분석능으로 제공합니다. 광학계의 자동 조정 기능과 데이터 취득 자동화 지원 옵션 기능을 탑재하여 대량의 데이터를 자동으로 얻을 수 있습니다.
![초고분해능 Schottky 주사전자현미경 SU7000](/kr/ko/media/su7000_main_tcm40-56802.png)
초고분해능 Schottky 주사전자현미경 SU7000
복수의 2차전자 신호와 반사전자 신호의 동시 취득으로 다양한 신호를 신속하게 취득. 최대 6채널 신호를 동시 표시,보존으로 Imaging 능력을 최대화 합니다. 대형시료실이나 저진공 대응 기능으로 FE-SEM에 요구되는 다양한 관찰 니즈에 대응합니다. 또한 Schottky Emitter 탑재한 전자총으로 조사 전류는 최대 200 nA까지 도달가능. Microanalysis나 기존 분석 방법의 다양화, 확장에도 대비하고 있습니다.
![Schottky 주사현미경 SU5000](/kr/ko/media/su5000_main_tcm40-56775.png)
Schottky 주사현미경 SU5000
SEM을 처음 사용하는 사용자에게도 「깨끗한 Image를 얻을 수 있다는 체험」, 혼자서 성취하고 숙달될 수 있다는 「성공 체험」, 그리고 숙달된 사용자에게도 풍부한 기능을 제공할 수 있는 새로운 「체험」. EM Wizard는 다양한 “User Experience”의 제공을 통하여 새로운 SEM의 즐거움과 재미를 개척하겠습니다.
![주사전자현미경 SU3800/SU3900](/kr/ko/media/su3800_main_tcm40-28044.png)
주사전자현미경 SU3800 / SU3900
사용하기 편한 다용도 고성능 현미경 히타치 하이테크놀로지즈의 주사전자현미경 SU3800/SU3900은 조작성과 확장성을 모두 갖췄습니다. 다양한 조작도 자동화하여 고성능을 효율적으로 활용할 수 있습니다. 다목적 대형 시료실을 탑재해 In-Situ 분석에도 대응했습니다.
![주사전자현미경 FlexSEM 1000 II](/kr/ko/media/flexsem1000_main_tcm40-56826.jpg)
주사전자현미경 FlexSEM 1000 II
「앞선 기술의 SEM을 더 콤팩트하게」폭 45 cm의 콤팩트한 설계로 4.0 nm의 Image 분해능을 실현하였습니다. 새롭게 개발된 유저 인터페이스와 전자광학계가 높은 성능을 더욱 실감나게 만들어 줍니다.
![탁상형 현미경 TM4000II/TM4000PlusII](/kr/ko/media/tm4000ii_main_tcm40-56718.png)
탁상형 현미경 TM4000II/TM4000PlusII
더 뛰어난 고화질, 손쉬운 조작, 관찰 편의성을 콘셉트로 개발한 TM4000시리즈에서 기능을 더욱 확장시킨 TM4000II 시리즈가 발매 되었습니다.새로운 관찰/분석 애플리케이션을 제공합니다.
![TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 AZtec시리즈](/kr/ko/media/em-aztec_main_png_tcm40-25312.png)
TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 AZtec시리즈
TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 Aztec시리즈의 특징은,「조작 순서대로 나열된 아이콘으로 간단조작 가능」「적합 스펙트럼을 표시하여 포개져 있는 원소를 간단하게 확인」「TruMap기능으로 피크가 겹쳐지는 원소를 분리하여 정확하게 표시(AZtecOne) 」입니다.
![TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 Quantax75](/kr/ko/media/q75_main_tcm40-56717.png)
TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 Quantax75
TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 Quantax75의 특징은,「간단조작으로 신속한 컬러X선 MAP」「지정한 Spot위치의 스펙트럼 확인이 가능」「하이퍼맵을 사용하여, 한번의 측정으로 Spot분석・라인분석・Mapping결과 취득가능」입니다.
![전계방출형 투과전자현미경 HF5000](/kr/ko/media/hf5000_main_tcm40-60471.png)
전계방출형 투과전자현미경 HF5000
공간분해능과 경사, 분석 성능을 조화시킨 200kV 수차보정(correcting spherical aberration) TEM/SEM
![투과전자현미경 HT7800 시리즈](/kr/ko/media/ht7800_main_tcm40-61312.png)
투과전자현미경 HT7800 시리즈
「RuliTEM」은 High Contrast에 특화된 렌즈 탑재로 광시야 High Contrast 관찰을 실현하는 HT7800과, 고분해능 렌즈를 장착하여 동급 최고 수준의 분해능을 보유한 HT7830의 라인업으로 구성된 120 kV 투과전자현미경입니다.