전자현미경 (SEM/TEM/STEM)

새롭게 개발한 전자총을 탑재하여 초고분해능 관찰을 실현하였으며, 전자선 관찰 시, 시료 Damage를 최소화하였습니다.

SU8700은 고공간 분해능과 다양한 신호 검출을 통한 관찰 성능으로 디바이스나 재료 분석에서 생명과학에 이르는 폭넓은 분야의 관찰 및 분석 업무를 지원합니다. Schottky FE 전자총을 탑재하여 극저가속 전압 관찰부터 대조사전류가 필요한 고속 분석까지 광범위한 분석 기법에 사용할 수 있습니다. 광학계의 자동 조정 기능과 데이터 취득 자동화 지원 옵션 기능을 탑재하여 대량의 데이터를 자동으로 얻을 수 있습니다.

SU8600은 고공간 분해능과 다양한 신호 검출을 통한 관찰 성능으로 디바이스나 재료 분석에서 생명과학에 이르는 폭넓은 분야의 관찰 및 분석 업무를 지원합니다. 고휘도 cold FE 전자총과 검출 신호 제어기능으로 Hight Contrast Image를 높은 분석능으로 제공합니다. 광학계의 자동 조정 기능과 데이터 취득 자동화 지원 옵션 기능을 탑재하여 대량의 데이터를 자동으로 얻을 수 있습니다.

복수의 2차전자 신호와 반사전자 신호의 동시 취득으로 다양한 신호를 신속하게 취득. 최대 6채널 신호를 동시 표시,보존으로 Imaging 능력을 최대화 합니다. 대형시료실이나 저진공 대응 기능으로 FE-SEM에 요구되는 다양한 관찰 니즈에 대응합니다. 또한 Schottky Emitter 탑재한 전자총으로 조사 전류는 최대 200 nA까지 도달가능. Microanalysis나 기존 분석 방법의 다양화, 확장에도 대비하고 있습니다.

SEM을 처음 사용하는 사용자에게도 「깨끗한 Image를 얻을 수 있다는 체험」, 혼자서 성취하고 숙달될 수 있다는 「성공 체험」, 그리고 숙달된 사용자에게도 풍부한 기능을 제공할 수 있는 새로운 「체험」. EM Wizard는 다양한 “User Experience”의 제공을 통하여 새로운 SEM의 즐거움과 재미를 개척하겠습니다.

사용하기 편한 다용도 고성능 현미경 히타치 하이테크놀로지즈의 주사전자현미경 SU3800/SU3900은 조작성과 확장성을 모두 갖췄습니다. 다양한 조작도 자동화하여 고성능을 효율적으로 활용할 수 있습니다. 다목적 대형 시료실을 탑재해 In-Situ 분석에도 대응했습니다.

「앞선 기술의 SEM을 더 콤팩트하게」폭 45 cm의 콤팩트한 설계로 4.0 nm의 Image 분해능을 실현하였습니다. 새롭게 개발된 유저 인터페이스와 전자광학계가 높은 성능을 더욱 실감나게 만들어 줍니다.

더 뛰어난 고화질, 손쉬운 조작, 관찰 편의성을 콘셉트로 개발한 TM4000시리즈에서 기능을 더욱 확장시킨 TM4000II 시리즈가 발매 되었습니다.새로운 관찰/분석 애플리케이션을 제공합니다.

TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 Aztec시리즈의 특징은,「조작 순서대로 나열된 아이콘으로 간단조작 가능」「적합 스펙트럼을 표시하여 포개져 있는 원소를 간단하게 확인」「TruMap기능으로 피크가 겹쳐지는 원소를 분리하여 정확하게 표시（AZtecOne） 」입니다.

TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 Quantax75의 특징은,「간단조작으로 신속한 컬러X선 MAP」「지정한 Spot위치의 스펙트럼 확인이 가능」「하이퍼맵을 사용하여, 한번의 측정으로 Spot분석・라인분석・Mapping결과 취득가능」입니다.

공간분해능과 경사, 분석 성능을 조화시킨 200kV 수차보정(correcting spherical aberration) TEM/SEM

「RuliTEM」은 High Contrast에 특화된 렌즈 탑재로 광시야 High Contrast 관찰을 실현하는 HT7800과, 고분해능 렌즈를 장착하여 동급 최고 수준의 분해능을 보유한 HT7830의 라인업으로 구성된 120 kV 투과전자현미경입니다.