走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）：原理解説
走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）は、プローブ（探針）と試料間に作用するさまざまな物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称です。その測定モードは、基本モードと、そこから派生した様々な物性マッピングが可能な多機能モードの二つに大別することができます。
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ここでは、SPMの最も基本的なモードである、走査型トンネル顕微鏡（STM）、原子間力顕微鏡（AFM）、ダイナミック・フォース・モード（DFM）、ならびに、表面形状の観察だけではなく、摩擦や粘弾性のような機械的物性イメージング、電流や磁気力などの電磁気物性イメージング等を可能にする多機能モードについて解説します。
基本モード
AFMの基本モード
多機能モード
機械的物性モード
電磁気物性モード
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