TMシリーズ専用エネルギー分散型X線分析装置 AZtecシリーズ
特長
AZtecシリーズは、以下3機種をラインアップしています。
- スタンダード：AZtecOneXplore
- ライブEDS対応：AZtecLiveOneXplore
- 多機能分析：AZtecLiveLite
AZtecLiveOneXplore
Live EDS機能
観察している領域のＸ線スペクトルと自動定性された元素情報を常に画面に表示します。 二次電子像、反射電子像だけでなく着目箇所の元素情報をリアルタイムで表示することができます。
TruMap機能
TruMap機能による高精度/高信頼性のX線分布の表示
TruMap機能は、ピークが重なる元素同士をリアルタイムにピーク分離してマップ表示します。
通常のマップでは重なってしまうMg-KとAs-Lもピークの重なりの影響なく元素マップ像が得られます。
AZtecOneXplore : オプション
AZtecLiveLite
拡張システム
フレキシブルな条件設定と高機能解析を提供します。モータステージとの併用により分析の自動化が可能です。
広領域マッピングパッケージ、粒子解析パッケージをご用意しています。
広領域マッピング
指定した複数領域を自動でデータ収集し、合成した1つのマッピング情報を生成します。
こんなに簡単、EDX分析
マッピング分析
スペクトル分析
ライン分析
仕様
検出器
| AZtecOneXplore | AZtecLiveOneXplore | AZtecLiveLite | |
|---|---|---|---|
| 検出器素子タイプ | シリコンドリフト検出器 | ||
| 検出器素子面積 | 30 ㎜2または65 ㎜2 | ||
| エネルギー分解能 | 151 eV(Cu-Kα) （Mn-Kα129 eV相当以上） |
||
| 検出可能元素 | B5～U92 | ||
| TruMAP | オプション | 標準搭載 | |
| LiveEDS機能 | なし | ライブスペクトル ライブマッピング |
ライブスペクトル ライブマッピング ライブイメージ |
| 拡張パッケージ (オプション） |
なし | なし | 広域マッピング 自動粒子解析 |
技術機関誌 SI NEWS
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