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日立ハイテク
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卓上顕微鏡 Miniscope® TM4000PlusIII/TM4000III

写真:卓上顕微鏡 Miniscope® TM4000PlusIII/TM4000III

「次世代の人財のためのMiniscope🄬」ここに誕生

シリーズ累計5,800台を突破したMiniscope🄬から新たなラインアップが誕生しました。
研究開発・品質管理・教育の最前線で活躍される皆様に、さらなる業務改善が期待されるMiniscope🄬です。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

TM4000PlusIII/TM4000IIIの特長

作業の省力化・平均化を実現

多検体観察の自動化:観察ワークフロー自動化支援機能(TM4000PlusIII)

ステージ移動、倍率変更、撮像などの観察手順をレシピとして保存することができます。レシピ化された観察手順は1クリックで自動実行が可能です。
多検体試料を観察するルーチンワークの多いユーザー、観察条件等に不安を持たれているユーザー、様々なユーザーの作業の省力化・技術の平均化を実現します。

自動粒子解析の高速化を実現:大電流機能+AZtecLiveLite粒子解析パッケージ

工業品の洗浄度解析やフィルター捕集物の自動粒子解析は測定点数が多くなるため、膨大な分析時間を要します。
TM4000PlusIIIでは新たに大電流設定となるMode5を搭載。オックスフォード・インストゥルメンツ社製EDS AZtecLiveLite 粒子解析パッケージとの組み合わせで、粒子解析の高速化を図ります。

計画的な装置運用を支援

計画的なメンテナンス:フィラメントインジケータ

フィラメントの交換時期の目安を表示するモニタリング機能を搭載しました。
装置利用者が複数にわたる場合、突然のフィラメント切れ→交換の心配を軽減し、計画的に装置を運用することが可能です。

いつでも装置状態をチェック:AutoOQ(Auto Operational Qualification)

SEM本体の状態をレポートとして出力し、装置状態の把握/共有を支援するソフトウェアです。

新たな教育ツールとして

前処理なく電子顕微鏡の世界を体験:低真空機能+高感度反射電子検出器

摘んできた草花、大切に保管している鉱石、身近な食品等々…、様々なサンプルで電子顕微鏡の世界を体験できます。
TM4000PlusIII/ TM4000IIIの低真空機能により前処理工程を軽減し、高感度の反射電子検出器で素早く画像を得ることができます。

プログラミング教育の出力装置として:観察ワークフロー自動化支援機能(TM4000PlusIII)

高等学校の教育課程において「情報Ⅰ」が必修科目となっているように、デジタル人材の育成・確保は我が国における重要課題の一つです。
自動化支援機能では“順次実行”、“繰返し”、“条件分岐”といったプログラミングの重要概念を、TM4000PlusIIIの動作を通じて体験的に学ぶことができます。

* オプション

Miniscope🄬の特長

画像観察まで3分。目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。

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観察・分析のフレキシビリティ

多彩なデータをオートで取得。切替も迅速!

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迅速な元素マップ*2の取得が可能

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*1 TM4000PlusIIIの機能です。

*2 オプション

Camera Naviを使えば、こんなに簡単

カメラナビ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート

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カメラナビゲーションシステム

基本操作はこんなに簡単・スピーディ

画像観察までわずか3分。
目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。

Report Creatorで手軽にレポート作成

画像とテンプレートを選択するだけでMicrosoft Word、Excel、PowerPoint 形式のレポートが完成

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絶縁物試料でも前処理なしでそのまま観察可能です。

帯電現象を抑える「帯電軽減モード」

帯電しやすい試料は「帯電軽減モード」を用いることで、帯電を抑えて観察できます。
「帯電軽減モード」への切り替えは、ソフトウエア上からマウスクリックで行えます。

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低真空で多彩な観察が可能

帯電しやすい粉末や含水試料などの試料も目的にあわせて観察できます。

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低真空下での二次電子像(表面形状)観察を実現します。

前処理不要で絶縁物や水分・油分を含む試料の表面観察を実現

これまでの導電性試料の観察だけでなく、絶縁物や含水・含油試料まで前処理なしでそのまま観察できます。二次電子像⇔反射電子像の切替も素早く行えます。

高感度低真空二次電子検出器

高感度低真空二次電子検出器(UVD)を採用。電子線と残留ガス分子との衝突によって発生した光を検出することにより、二次電子情報を持った画像を観察することができます。また、本検出器をコントロールすることにより、電子線照射により発生した光を検出することでCL情報(UVD-CL:CL情報を含んだ画像)を取得することが可能です。

高感度低真空二次電子検出器の検出原理
高感度低真空二次電子検出器の検出原理
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加速電圧20 kV対応

TM4000PlusIII/ TM4000IIIは加速電圧20 kV対応になりました。
EDS分析(オプション)において、より高計数の分析が可能となりました。

加速電圧20 kVによるEDSマッピングの高S/N化

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Multi Zigzag(オプション)

SEM観察を広い領域で行いたいという要望にお応えしました。
モータードライブステージとの併用で、SEMで撮影が困難な低倍高精細広領域観察が行えます。

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こんなに簡単、EDX分析

マッピング分析

スペクトル分析

ライン分析

STEMホルダー(オプション)

簡易的な透過電子像が観察可能です。

新開発のSTEMホルダーと高感度低真空二次電子検出器(UVD)を組み合わせて使用することで、簡便に透過電子像の取得が可能です。
薄膜試料や、生体サンプルの観察に有効です。

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* UVDはTM4000PlusIIIの機能です。

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試料 : 研磨剤
加速電圧 : 20 kV
観察信号 : (a) STEM像, (b) 反射電子像
倍率 : 10,000倍
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試料 : 研磨剤
加速電圧 : 20 kV
観察信号 : (a) STEM像, (b) 反射電子像
倍率 : 10,000倍
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試料: ラットの腎臓
加速電圧 : 15 kV
観察信号 : STEM像
倍率 : 1,000倍
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試料: ラットの肝臓
加速電圧 : 15 kV
観察信号 : STEM像
倍率 : 5,000倍

製品紹介プレゼンテーション

プレゼンテーションをWEBセミナー形式でご覧いただけます。
(会員制サイト“S.I.navi”へのご登録が必要です(ご登録無料)。ご登録はこちら

コンパクトで高品質なイメージングを提供する、卓上顕微鏡を紹介いたします。

Miniscope🄬のアプリケーションギャラリー

分野別の観察事例をご覧いただけます。

仕様

項目TM4000PlusIIITM4000III
倍率 ×10~×100,000(写真倍率)
×25~×250,000(モニター倍率)
加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
画像信号 反射電子
二次電子
合成(反射電子+二次電子)
反射電子
真空モード 導電体(反射電子のみ)
標準
帯電軽減
標準
帯電軽減
試料可動範囲 X:40 mm Y:35 mm
最大試料サイズ 80 mm(径) 50 mm(厚さ)
電子銃 プリセンタードカートリッジフィラメント
検出器 反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
二次電子:高感度低真空 二次電子検出器
反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
排気系
(真空ポンプ)
ターボ分子ポンプ:67 L/s 1台
ダイアフラムポンプ:20 L/min
ステージ モータードライブ マニュアル
大きさ・質量 本体:330(幅)×614(奥行)×547(高さ)mm 55 kg 本体:330(幅)×617(奥行)×547(高さ)mm 53 kg
ダイヤフラムポンプ:144(幅)×270(奥行)×216(高さ)mm 5.5 kg

技術機関誌 SI NEWS

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