3次元計測ソフトウェア Hitachi map 3D
特長
3次元計測ソフトウェア Hitachi map 3Dの概要
Hitachi map 3D は日立の4分割反射電子検出器で取得した信号を用いて4方向の表面形状を計算するため、試料傾斜、視野位置合わせを行うことなく3次元モデルの構築が可能なソフトウェアです。
自由度の高いプロファイル計測
任意の場所から断面・表面を抽出し、高さ測定や断面上での2点間計測が可能です。
-
任意の場所で断面プロファイル表示
画面上の領域から縦・横・斜めと任意の測定場所を選択できます。
画面上の測定場所を移動させると、計測結果がリニアに変化します。
- 抽出した断面の高さ・角度計測
- 断面・平面データ上で2点間の距離・高さを計測
高精細な3次元像表示
- 豊富な3次元レンダリング処理と スムーズな動画表示
試料：ねじ
様々な計測・レポート機能
-
ISOに準拠した面粗さ、線粗さの計測が可能
レポートレイアウト上で工程・作業前後の比較表示ができます。
各種フォーマットに対応した出力形式
- レポートデータはWord対応形式、PDF形式などで出力可能
- 3次元構築データはtxt形式、3Dプリンタ対応形式などに対応
詳細なヘルプ機能と多言語対応
- 粗さに関する数式まで記載されたヘルプ機能
- オペレーションは11言語に対応
仕様
製品取扱ラインアップ
- Hitachi map 3D Light
- Hitachi map 3D Standard
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| インポート機能 | 4素子画像データ自動選択・読み込み機能 |
| 測定性能 | 深さ精度±20％以下（参考値） キャリブレーション、試料および観察条件に依存 |
| 検出可能角度±60°以下（参考値） TM4000用±50°以下（参考値） |
|
| 測定機能 | ISO、JIS規格に準拠した計測が可能 |
| 任意の場所で断面プロファイル表示 | |
| 2点間のX、Y、長さ、角度など各種情報表示、表面積・体積測定 | |
| 断面プロファイル上での2点間のX、Y、Z、長さ他各種測定 | |
| 簡易表面粗さ(線粗さ、面粗さ）計測 | |
| ベースライン補正機能(直線、曲線)、レベリング他各種校正 | |
| 等高線、鳥瞰図表示 | |
| レイアウト、テンプレート機能 | |
| 複数枚画像の合成 | |
| 輪郭解析 | |
| 光学顕微鏡・AFM像重ね合わせ | |
| ステレオ像での３次元構築 | |
| 疑似カラー表示 | |
| 3次元表示機能 | 回転、ズーム、各種レンダリング処理 |
| 表示履歴動画記録機能 | |
| 出力機能 | レポート/画像: PDF、RTF/ PNG、JPG、GIF、TIF、BMP、EMF |
| 3次元像/動画: SUR、3MF、STL、WRL、TXT、X3D/ WMV、AVI |
キャプチャ機能仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定方式 | 反射電子検出器の４素子画像データ自動取得 |
| キャプチャ画素数 | 640×480、1,280×960 |
| データ取り込み時間 （走査速度） |
10～320ｓ/素子 |
| 測定機能 | ヒストグラム表示による明るさ確認機能 |
PC動作環境
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 対応OS | Windows®７以降 |
| プロセッサ | クアッドコアプロセッサ |
| メモリ | 8GB以上 |
| グラフィックボード | OpenGL 2.0またはDirect 3D 9.0C |
| HDD | 800MB以上 |
| USBポート | ×1必要 |
* Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における商標または登録商標です。
観察例1
Hitachi map 3D シリーズの基本機能
鳥瞰図表示
- 試料表面の状態を3次元の様々な方向から観察可能
等高線表示
- 等高線表示による高さ情報を持つ2次元画像表示
疑似カラー表示
- 取得したSEM像を任意の色に編集可能
観察例2
Hitachi map 3D Standardは3次元分析に有効な機能を有しています
3D Stitch
- 複数の連なった3次元データから一つの広領域データを合成
輪郭解析
- 抽出した領域・断面の角度、直径などを計測可能
ステレオ画像からの3次元構築
- 試料を傾斜させて取得した2枚のSEM像(SE像、BSE像)から3次元像を構築可能
光学顕微鏡・AFM像重ね合わせ
- AFM、CCD像の上にSEMやTOPO像を重ねて同時表示
3Dギャラリー
2次元ではわからない形状が、3次元では見えてきます。
Hitachi map 3Dは従来分からなかった高さの形状が確認できます。
電子部品
観察信号：反射電子像 試料:半導体割断面
倍率：1,000倍
観察信号：反射電子像 試料:コネクタ不良面
倍率：1,200倍
材料
観察信号：反射電子像 試料:太陽電池
倍率：2,000倍
観察信号：反射電子像 試料:マイクロレンズ
倍率：2,000倍
バイオ
観察信号：反射電子像 試料:ゆで卵の黄身
倍率：200倍
観察信号：反射電子像 試料:トンボの複眼
倍率：1,000倍
観察信号：反射電子像 試料:毛髪
倍率：1,000倍
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