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ハードデイスク
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クリーン・ドライエアシステム（グローブボックス/エンクロージャー/ドライルームシステム）
ラボスケールから本生産まで、あらゆるステップで効果を発揮 除湿機メーカーとして心臓部のローター生産から機械設計・製造まで一貫して行ってきたノウハウを生かしドライ環境が必要なあらゆる段階におけるお客様のニーズに、最適なシステムでお応えします。
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Plasma Cleaner
IC、LED、PCB、LCD等の電子部品製造工程でのクリーニング、表面改質等で幅広くお使いいただける装置です。 バッチ装置と処理量に特化したインライン装置をご提案します。
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プラズマ処理装置 デスミア／デスカム／表面改質
独自の電極構造を用いたプラズマ処理装置です。リジットプリント基板からフレキシブルプリント基板まで豊富なラインナップから最適な装置をご提案します。
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超音波映像装置 FineSAT III
超音波映像装置FineSATは、半導体パッケージ、電子部品、セラミック・金属・樹脂部品などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、超音波を使って非破壊で映像化する装置です。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノメーターレベルの隙間も検出することができます。
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走査型白色干渉顕微鏡 VS1330
光干渉方式の特徴であるスピード・精度・分解能をそのままに、ISO国際標準に準拠した汎用計測ユニットとしてお使いいただける単眼ベースモデルです。 顕微鏡タイプのため微分干渉ユニットが装着でき微分干渉像も手軽に観察可能です。 卓上・小型タイプのコンパクト設計で場所をとらず、表面粗さ管理や膜厚管理といった検査工程に適したモデルです。
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ナノ3D光干渉計測システムVS1800
ナノ3D光干渉計測システムVS1800は、光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。
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ダイオキシン前駆体モニタ CP-2000/PCBモニタ CP-2000P
ごみ焼却場での排ガスに含まれるクロロフェノール、クロロベンゼンの濃度を、またPCB分解処理設備でのPCB濃度を連続的に測定・監視します。
