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日立ハイテク
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AFM Technology

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レシピを活用したナノマテリアルの品質管理

AFMの一連の操作をワンボタンで行うことができます。

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レシピの活用方法1 電動ステージによる連続測定

適用製品:

電動ステージに複数サンプルをセットし順番に測定することができます。

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レシピの活用方法2 広域イメージから複数箇所の狭域の連続操作

適用製品:

AFMで広域を測定後、レシピを開き広域イメージ上の任意の領域をマウス操作で指定して複数箇所の狭域測定を連続して行うことができます。

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レシピの活用方法3 小型ユニットでも測定効率向上

適用製品:

小型ユニットなど小片サンプルを交換しながら測定する場合でもサンプルごとにレシピを作成しておくことでワンボタンで操作を行うことが可能です。

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測定事例

ナノ粒子計測、基板やフィルムの粗さなどの品質管理に活用できます。

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その他の特長

ナノ粒子計測、基板やフィルムの粗さなどの品質管理に活用できます。

  • Qカーブの測定条件もレシピに設定可能
  • サンプルごとに設定した固定パラメータでのルーチン測定のほか、レシピ中で測定パラメータの自動調整機能RealTuneⅡも実施可能
  • レシピで測定した全ての粗さ解析結果をCSVファイルで出力可能
  • より高度な解析にはオフラインソフトを活用した自動解析手法のご提案も致します。

関連情報

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)に関する測定手法、測定例の一部を、会員制情報検索サイト「S.I. navi」でご提供しています。
リストの一部はこちらからご覧いただけます。

S.I.navi

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Semevolution

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