走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）
あらゆるステージで活躍する日立のAFM
用途別
Web Seminar
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製品名
基本機能
機能拡張性※
対応環境
試料微動機構
試料サイズ
(AFM100):AFM、DFM、PM、FFM、SIS形状モード
(AFM100 Plus / AFM100 Pro):AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御
(AFM100 Plus / AFM100 Pro):AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御
SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech、機械物性システム（LM-FFM、VE-AFM、Adhesion）、
電気物性Ⅰ（MFM、KFM (AM/FM)、EFM（AC）、EFM（DC）、PRM）、電気物性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico））、PicoSTM※（AFM100 Plubusseis / AFM100 Proのみ可能）
大気、液中※、加熱※（室温～250℃）、液中加熱※（室温～60 ℃）
マニュアルステージ XY：±2.5 mm
インパクトステージ（導電タイプ）※
インパクトステージ（導電タイプ）※
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm※
最大50 mm角、厚さ20 mm※
AFM、DFM、PM位相、FFM
SIS形状、SIS物性、SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech、
機械物性システム（LM-FFM、VE-AFM、Adheasion）
電気物性Ⅰ（MFM、KFM（AM/FM）、EFM（AC/DC)、PRM)
電気物性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico)
機械物性システム（LM-FFM、VE-AFM、Adheasion）
電気物性Ⅰ（MFM、KFM（AM/FM）、EFM（AC/DC)、PRM)
電気物性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico)
大気
精密電動ステージ
観察可能領域：100 mm(4インチ)全域
ストローク：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最少ステップ：XY 2 μm、Z 0.04 μm
観察可能領域：100 mm(4インチ)全域
ストローク：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最少ステップ：XY 2 μm、Z 0.04 μm
最大100 mmφ、厚さ20 mm
AFM、DFM、PM、FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
大気、真空※、液中※、湿度※、
加熱冷却※
（-120～300℃/RT～800℃)
加熱冷却※
（-120～300℃/RT～800℃)
マニュアルステージ
XY：±2.5 mm
XY：±2.5 mm
最大25 mmφ、厚さ10 mm
※オプション
走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）関連 消耗品
試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性／機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。
アプリケーション
走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）のアプリケーション（測定事例）を紹介しています。
走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。
製品ユーザー向け情報
当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。
初めてお使いになるお客様へ
関連情報
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