計測装置・検査装置
計測装置・検査装置
計測装置・検査装置のラインアップをご紹介いたします。
高精度電子線計測システム GT2000
High-NA EUV世代のデバイス開発と量産におけるニーズに応えたCD-SEM
高分解能FEB測長装置 CS4800
CS4800は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMです。
高分解能FEB測長装置 CG7300
EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM
高分解能FEB測長装置 CG6300
CG6300では、電子光学系を一新することにより分解能を高め、測長再現性および画質の向上を図りました。
高加速CD-SEM装置 CV7300
高加速電圧60kVのインラインCD計測SEM装置
高加速測長SEM装置 CV6300 Series
高加速電圧45kVのインラインCD計測SEM装置
電子線高速広領域検査システム GS1000
高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム
RecipeDirector / DesignGauge-AnalyzerPlus
レシピをオフラインで自動作成 設計データ応用計測システム
ディフェクトレビューSEM CR7300 Series
高速ADR、高精度ADCにより歩留まり改善に貢献するインライン対応レビューSEM
ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ
ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。
暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600
高感度検出と高スループット検査による高速製品モニタリングを実現。歩留まり向上と生産コスト削減に貢献する次世代 対応暗視野式ウェーハ欠陥検査装置です。
ミラー電子式検査装置 Mirelis VM1000
ミラー電子式検査装置
Mirelis VM1000は、SiCバルクウェーハの加工ダメージ、エピタキシャルウェーハの積層欠陥や基底面転位といった結晶欠陥を非破壊で検査します。
欠陥形状評価SEM CT1000
欠陥及びパターン形状の3D観察でG&Cデバイスの開発TAT短縮と品質向上に貢献
日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI2800
G&Cデバイスの製造工程中のパターンサンプル上に発生する欠陥検出と管理に貢献
ターミナルPCソフトウェア
測長SEMの稼動率向上を支援するソフトウェアです。
データステーション
データステーションは、測長ファイルの作成・編集や複数の測長SEM間でのファイルの同期などが行うことができるPCです。
メンテナンスサービス
メンテナンスサービスを紹介します。
ユーザートレーニング
ユーザートレーニングを紹介します。