Cantilever
カンチレバー (Cantilever)
カンチレバーとは、探針を取り付けてある板ばねの部分を示す。STM（走査型トンネル顕微鏡）以外のSPM（走査型プローブ顕微鏡）で使用するプローブの通称。厳密には片持ちバネ部分(下図・①)のことを指すが、本体部分(下図・②)と片持ちバネを合わせた機構全体のことを指す場合もある。当サイト内では、片持ちバネ部分をカンチレバーと記載する。
光ヘッド部の構造（光てこ方式）
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