Coarse Positioning Mechanism
粗動機構 (Coarse Positioning Mechanism)
粗動機構とは、SPM（走査型プローブ顕微鏡）において、探針・試料間の距離を近づけたり離したりする、Z方向の動作機構。ステップモータによりネジ機構を駆動して制御される。例えば、当社のSPA-400では高速(82µm/sec)と低速(54.5µm/sec)の2種類の速さで動作させることができる。
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