Photodetector
光検出器 (フォトディテクタ：Photodetector)
光検出器とは、受光面に入射した光量に比例した電圧を出力する素子。SPM（走査型プローブ顕微鏡）では、光検出器に入射するレーザー光は4分割された領域(A,B,C,D)で検出され(下図参照)、各領域で検出された光量の比較からカンチレバーの変位を求めている。
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