VE-DFM (Viscoelastic DFM)
VE-DFM (マイクロ粘弾性DFM：Viscoelastic DFM)
VE-DFM (マイクロ粘弾性DFM)とは、AFM（原子間力顕微鏡）動作中に粘弾性分布を測定する、SPM（走査型プローブ顕微鏡）の測定モードの一種。試料をZ方向に微小振動させて周期的な力を加えながら、カンチレバーのたわみ振幅とsin・cos成分を画像化する。
【特徴】
◆VE-AFMと比較して、柔らかい試料や吸着力の強い試料に有効。
関連情報
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