Closed Loop Feedback
クローズドループ制御 (Closed Loop Feedback)
クローズドループ制御とは、圧電素子スキャナが持つヒステリシスやクリープなどの非線形な特性による影響を排除したスキャナの制御方式。微小計測、微小加工、観察位置の拡大測定などにおける精度の飛躍的な向上を実現した。
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