SISモードの紹介
| ジャンル | 半導体・エレクトロニクス, 無機材料, 有機・高分子 |
|---|---|
| モード | SIS |
| 測定領域 | |
| ステーション | AFM5000 |
| 装置 | AFM5400L |
解説
(a) DFMモード
(b) SISモード
Fig.1 DFMモードとSISモードの比較
SISモード（ステーション）では、DFMと同様のレバー振動を行なわせながら、データ取得時のみ探針を接触させているので、従来のDFMモードに比べて接触回数が桁違いに小さく、探針磨耗が軽減されます。また吸着や変形の大きい試料でも、安定な観察が期待できます。特にCNTプローブとクローズド・ループ・スキャナを併用することにより、従来は困難であった、ハイアスペクト形状の高精度な観察や測長が行なえます。(1)
SISモードの動作
- データ取得時のみ探針を接近させ、位置情報を取得
- データ取得時以外は、探針を試料上空に待避（摩耗軽減）
- 探針の移動時、試料と衝突しそうな場合、走査速度を減速し、探針を試料上空に退避（カンチレバーの保護）
*左の動作説明動画では、試料表面をまばらにスキャンしているように見えますが、これは原理説明のためです。実際の解像度（ピクセル数）はDFMモードと同様です。
関連情報
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