GMRヘッドのMFM観察（２）
| ジャンル | ストレージ, マグネティックス |
|---|---|
| モード | MFM |
| 測定領域 | 10µm |
| ステーション | AFM5000 |
| 装置 | AFM5400L |
解説
MFMは試料表面の漏れ磁界分布を画像化するSPM（走査型プローブ顕微鏡）のひとつです。磁性コート探針と磁性体試料に作用する磁気力（勾配）を画像化しています。 従来からある磁区観察法に比べて、大気中で高分解能な磁区観察を、試料の表面形状観察と同時に行えるのが特徴です。磁気ヘッド等の測定では、記録ポールやシールド層 などの磁性体部分が明るく、非磁性部分が暗く表示されます。磁性体部分には幾何学的な模様（磁区）が観察されています。また材質によって、磁気力勾配に差があることもわかります。
Fig.1a はGMRヘッドの表面形状像です。Fig.1b は同時測定したMFM像です。Fig.2 は AFM5000の機能<形状像と物性像の重ね合わせ>を使った画像です。 形状の特徴と磁気特性を1つの画像で見ることができるようになりました。
磁気ヘッドの評価には、ここでご紹介したMFM以外にも、Conductive AFM（電流同時AFM)が有効です。この手法では、最表面のDLC層を介して、金属磁性層からの微小電流を計測、マッピング可能です。
関連情報
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