ナノインプリント転写条件の評価
| ジャンル | 有機・高分子 |
|---|---|
| モード | SIS |
| 測定領域 | 2µm |
| ステーション | AFM5000 |
| 装置 | AFM5400L |
解説
近年、ナノインプリント技術は10nmレベルのナノ構造を低コストに大量生産できる加工技術として研究が盛んに行われており、これら微細形状の観察や物性評価を行う装置としてSPMが利用されています。
タイトル画像は、金型であるモールドとナノインプリント転写試料のAFM画像です。 ナノインプリントプロセスの1つである熱サイクルナノインプリント法では、モールド(SiO2、Si)を転写試料(PMMA/Si基板)に加熱しながらプレスしてパターンを形成します。fig1はモールド形状評価結果、fig2はプレス条件を変えたときのナノインプリント試料の比較評価結果です。 プレス条件によって転写形状に違いが見られ、プレス時の温度が150℃の時には凸部左上に突起があり凹部形状もモールド形状と一致していません。また、プレス温度が180℃では溝深さが違っており、プレス温度120℃が、よりモールド形状を正確に反映していることがわかります(1)。(サンプルご提供：兵庫県立大学 松井研究室)
測定はSISモードにより行いました。SISモードは、DFMを進化させた最新の測定モードで、凹凸の大きな試料、吸着の大きな試料、柔らかい試料など、従来のSPMでは探針の制御が不安定になり測定に熟練を要したものが、容易かつ安定して行なえます(2)(3)。
引用等：
- (1)松井真二、”SPMのナノインプリント応用-パターンおよび剥離評価-”、 日立ハイテクサイエ ンス社、走査型プローブ顕微鏡セミナーテキスト、2008、p.39-64.
- M. Yasutake, K. Watanabe, S. Wakiyama and T. Yamaoka: ” Critical Dimension Measurement Using New Scanning Mode and Aligned Carbon Nanotube SPM Tip”, JJAP, 45, No.3B (2006).
- T.Nishimura, M.Yasutake, K.Watanabe, S.Wakiyama; "Ｃｒｉｔｉｃａｌ dimension mｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ using new scanning mode and aligned Ｃａｒｂｏｎ nanotube SPM Tip",The 16th International Microscopy Congress(IMC16), Abstracts（2006）.
関連情報
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