日本顕微鏡学会（2020年度）WEB特設ブース
こちらは日立ハイテクグループの「日本顕微鏡学会 学術講演会」特設ページとなります。日立ハイテクの最新技術・情報を、バーチャル展示でご覧ください。
「日本顕微鏡学会 第77回学術講演会」（2021年6月14日～16日、つくば国際会議場）は、オンラインでも参加が可能なハイブリッド開催となっております。ここでは、日立ハイテクブースへご来場いただけない方に、最新技術・情報をご紹介しています。
2021年度最新情報
学術講演会連動企画 オンライン相談会のご案内
顕微鏡学会学術講演会の期間中、オンラインでのご相談を承ります。装置に関するご質問に限らず、デモ測定のご相談、普段のお困りごとなど、展示説明員が対応いたします。
対象装置、ご希望の時間帯を記載の上、お気軽にお申し込みください。
オンライン相談の流れ
- お申し込み
- 日時調整のご連絡
- オンライン相談のご案内をメールでご連絡
- ご案内メールからリンクをクリックいただき、打ち合わせに参加
オンライン相談申込み
（受付は終了いたしました。）
日立グループ発表プログラム
「日本顕微鏡学会 第77回学術講演会」における日立グループの発表演題を一覧でご案内しています。
PDFファイルでは、学術講演会発表に加え、ポスターセッション、写真コンクール作品も一覧でご紹介しています。
人気のセミナー「第35回材料解析テクノフォーラム」を限定再配信
2020年10月に開催しご好評いただいたWEBセミナー「第35回材料解析テクノフォーラム」の模様を動画でご視聴いただけます。
弊社会員制サイト“S.I.navi”内でも人気コンテンツとなっていますが、まだご入会いただいていない方々にも期間限定で配信いたします、学会発表ではご紹介しきれない最新トピックを、この機会にご覧ください。
お申込みいただいた後、動画視聴用URLをご案内いたします。
【限定公開期間】6/14（月）09：00~６/30（水）18:00
【演題】
| テーマ | タイトル | 概要 |
|---|---|---|
| 演題① テーマ：自動化 |
大容量データ取得に対応した自動化機能のご紹介 | マテリアルズインテグレーションを始めとする膨大なデータを活用した材料開発や微細化・厳格化が進む電子部品材料の品質検査・管理など、大量のデータ収集・解析の必要性が高まっています。本セミナーではSEMでの多視野/大容量データ取得向けた自動化機能について、解析事例を交えてご紹介いたします。 |
| 演題② テーマ：LIB |
雰囲気遮断 イオンミリング－SEM－AFMによるLIBの解析～充放電サイクル前後の組成と電気抵抗分布の相関～ | イオンミリング、SEM、AFMに共通の雰囲気遮断試料ホルダを用いたシステムを開発し、LIB正極、負極試料の構造、元素分析、電気抵抗分布（SSRM）などの同一箇所観察を実施した。正極のプレスによる性能向上や、シリコン-黒鉛負極の常温サイクル試験前後および高温サイクル試験後の抵抗増大等に関する相関解析結果をご紹介いたします。 |
| 演題③ テーマ：LIB |
FE-SEMを中心としたリチウムイオン電池解析事例のご紹介 | リチウムイオン電池の研究開発・製造において、SEMは形状、組成などを視覚的に把握できる解析手法として各工程で広く使用されています。今回は低加速・高分解能FE-SEMによる評価を中心に、光顕、ラマン、AFMとの相関解析システムを用いた、リチウムイオン電池解析事例および最新の取り組みをご紹介いたします。 |
| 演題④ テーマ：５G |
球面収差補正200kV TEM/STEM HF5000のその場観察機能とその応用 | HF5000のその場観察機能は差動排気を強化した開放型のガス導入システムを採用しており、MEMS加熱ホルダーと組み合わせることで加熱、ガス環境下においても原子分解能観察が可能となります。本セミナーではHF5000のその場観察機能とその特長を活かしたアプリケーションについてご紹介いたします。 |
| 演題⑤ テーマ：５G |
材料開発をサポートするFIB技術－5G市場における電子顕微鏡関連技術の活用－ | 5G向け基地局や端末向けの新材料開発が活発に進められており、なかでも積層セラミックコンデンサの需要が増加しています。本セミナーでは日立FIB装置の紹介とこれらを用いた積層セラミックコンデンサの解析事例についてご紹介します。最後にETHOS NX5000の新機能についてもご紹介いたします。 |
| 演題⑥ テーマ：５G |
材料評価・品質管理へのナノ3D計測ツール（CSI/AFM）活用アプリケーションのご紹介 | 市場拡大が進む5Gでは高速・大容量のデータ通信が可能となりますが、低損失性向上のため既存技術とは異なる材料開発や品質管理が求められています。本セミナーでは、日立ハイテクが販売するナノ3D計測ツールCSI（白色干渉顕微鏡）およびAFMの特長と5G対応製品に活用できるアプリケーションをご紹介いたします。 |
動画視聴URL申込み
（受付は終了いたしました。）
日立SEM基礎セミナー（オンラインセミナー）のご案内
「日立SEM基礎セミナー」を、オンラインで開催いたします。SEMの基礎と前処理を中心とした演題となります。
SEMをご使用中の方だけでなく、これからご使用になる予定の方もお気軽にご参加くださいますようご案内申し上げます。
日時：7/14（水） 15:00～16：50
演題１：走査電子顕微鏡（SEM）の原理と観察テクニック ～SEMで何ができるのか～
演題２：走査電子顕微鏡（SEM）試料前処理の基礎 ～SEM観察のために何が必要か～
演題３：エネルギー分散型X線分析装置（EDX）の基礎
（受付は終了いたしました。）
2020年度学会発表
「日本顕微鏡学会 第76回学術講演会」（ 2020年5月25日（月）～27日（水）大阪国際交流センター）は、新型コロナウイルス感染拡大に鑑み、紙上開催となりました。
ここでは日立ハイテクグループで予定しておりました発表内容、ランチョンセミナー資料、展示ブースの出展パネルを掲載しております。
口頭発表
SEMによる海洋マイクロプラスチック（MP）の微細化要因の検証
株式会社日立ハイテク 塩野正道、坂上万里、平戸達也
（PDF形式、9,609kb）こちらでダウンロードできるPDFは
前半のみになります
会員制サイトS.I.naviでは、完全版を公開しております。
（新規入会も随時受付しております。ぜひご入会ください（登録無料））
ポスター発表
IMとFIBの組み合わせによる大面積・高位置精度断面加工の試み
株式会社 日立ハイテク
森川 晃成、野間口 千尋、佐藤 高広、岩谷 徹
株式会社 日立ハイテクサイエンス 山本 洋
こちらでダウンロードできるPDFは
前半のみになります
会員制サイトS.I.naviでは、完全版を公開しております。
（新規入会も随時受付しております。ぜひご入会ください（登録無料））
ランチョンセミナー
日本顕微鏡学会 第76回学術講演会 ランチョンセミナー「日立ハイテクが提供する相関イメージング技術」
（新規入会も随時受付しております。ぜひご入会ください（登録無料））
写真コンクール応募作品
展示会
製品・技術紹介
【TEM】電解放出型透過電子顕微鏡 HF5000
【TEM】120kV透過電子顕微鏡 HT7800シリーズ
【FIB】高性能FIB-SEM NX5000
【FIB】直行配置型FIB-SEMを用いた金属組織解析 NX9000
【SEM】インレンズ形FE-SEM SU9000による極低加速電圧観察
【SEM】超高分解能多機能FE-SEM SU7000
【SEM】ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000
【SEM/TEM】光-電子相関顕微鏡システム MrrorCLEM
【SEM】連続切片自動撮像機能 ACAT
【SEM/FIB/AFM】SEM/FIB/AFMを用いた3D形状・物性の相関解析事例
【SEM/FIB/AFM】金属腐食相関解析 (SEM/EBSD-FIB/EDX AFM)
【SEM/AFM】車載用三元系リチウムイオン電池正極材の雰囲気遮断SEM(EDX)-SSRM(電気抵抗)観察
【CSI】ナノ3D 光干渉計測システムによるナノ3D 計測ソリューション
【SEM】日立走査電子顕微鏡 SU3800/3900のご紹介
【SEM】走査電子顕微鏡 FlexSEM®1000II
【前処理・周辺装置】イオンミリング装置 ArBlade 5000
【SEM】走査電子顕微鏡によるナノ3D計測ソリューション
【SEM】〜卓上SEMでの最新観察事例〜低真空最新検出器からSTEM観察まで
【前処理・周辺装置】卓上サンプルクリーナーZONESEM II & ZONETEM II
【前処理・周辺装置】日立電子顕微鏡イオン液体 HILEM®
【前処理・周辺装置】TEM用液中サンプル観察ツール K-kit
【前処理・周辺装置】IoTサービス ExTOPE EM
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Products
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡SU9000II
日立FE-SEMの最上位機種である前モデルに、高輝度電子銃と低収差レンズなどの基本性能の改善を積み重ね、世界最高分解能＊1 0.4 nm（加速電圧：30 kV）、低エネルギー条件でも0.7 nm（照射電圧：1.0 kV/オプション）の分解能を新たに達成しました。STEMに加えてEELSの測定にも対応できます。加えて、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。
*2023年4月現在
超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000
複数の二次電子信号と反射電子信号の同時取得で、多様な信号を迅速に取得。
最多6チャンネルの信号同時表示・保存がイメージング能力を最大化します。
大型試料室や低真空対応機能により、FE-SEMに求められる多様な観察ニーズに応えます。
さらに、ショットキーエミッター搭載の電子銃により照射電流は最大200 nAまで到達可能。マイクロアナリシスや、将来の分析手法の多様化・拡張にも備えます。
ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000
SU5000はショットキー電子銃とアウトレンズ型対物レンズを組み合わせ、様々な大きさ・組成の試料の高分解能観察・各種分析に対応しています。ドローアウト試料室により、加熱・引張りステージを利用したアプリケーションにも対応可能です。
また、あらゆるユーザーのSEM体験をサポートする独自のユーザーインターフェース、EM Wizardを搭載しています。
走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900
日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。
走査電子顕微鏡 FlexSEM 1000 / FlexSEM 1000 II
卓上設置も可能なコンパクトサイズながら4.0nmの分解能を実現した、熱電子銃搭載SEMです。標準装備の低真空モードにより、導電性が不十分な試料でも、帯電防止用の金属コーティング無しに、迅速な観察が可能です。低真空下での試料最表面形状観察に優れたUVD(高感度低真空検出器)も選択可能です。
電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000
空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV 収差補正TEM / STEM
0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。
透過電子顕微鏡 HT7800シリーズ
操作性を追及した120kVのデジタルTEMです。高精細スクリーンカメラやImage Navigationにより、明るい部屋でのデジタル操作がより快適になりました。広視野・高コントラスト観察を追及したHT7800と、クラス最高レベルの高分解能を実現したHT7830をラインナップしています。
リアルタイム3DアナリティカルFIB-SEM複合装置 NX9000
SEMカラムとFIBカラムを直角に配置した、三次元構造解析に最適なFIB-SEMです。電界放出形電子銃と独自のジオメトリーにより、加工観察位置でも高分解能SEM観察を実現しています。3D-EDSや3D-EBSDも、ステージを移動することなく、実施可能です。マイクロサンプリングやトリプルビームを組み合わせることで、TEMやアトムプローブの高品位試料作製にも対応できます。
FIB-SEM複合装置、トリプルビーム装置 NX2000
高品位TEM試料作製を追及したFIB-SEMです。電界放出形電子銃と高感度信号検出系により、高コントラスト・リアルタイムのSEM加工終点検知を実現しました。姿勢制御技術やAr/Xeトリプルビームにより、試料作製時のアーティファクトやダメージも大幅に低減可能です。また、自動マイクロサンプリングを組み合わせることで、TEM試料作製のスループットを大幅に向上させることができます。
高性能FIB-SEM複合装置 Ethos NX5000
「Ethos」は、日立ハイテクのコア技術である高輝度冷陰極電界放出型電子銃と新開発の電磁界重畳型レンズにより、低加速電圧での高分解能観察を可能とし、リアルタイムFIB加工観察と両立しました。
環境制御型ユニット AFM5300E
真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型AFMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。
中型プローブ顕微鏡システム AFM5500MⅡ
AFM5500MⅡ単独での高精度測定に加え、SEMやCSIといった他の顕微鏡とのリンケージ機能により単独ではできない精度の高い故障解析や欠陥評価を実現します。
イオンミリング装置 ArBlade® 5000
断面ミリングと平面ミリング（フラットミリング）に対応したハイブリッドタイプのイオンミリング装置で、目的に応じた試料前処理が可能です。断面ミリング幅を8mmまで拡張することができ、電子部品など広領域ミリングを必要とするアプリケーションにも対応できます。
関連情報
「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。
日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution（セメボリューション）」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。
