2014年度作品「ナノ・ステンドグラス」
透過電子を用いたCu配線の結晶方位解析（TKD：Transmission Kikuchi Diffraction）の結果です。従来の反射電子では困難であった、数10 nm程度の粒子の結晶方位が鮮明に可視化できています。まるで、微粒な結晶たちが織りなすステンドグラスのようです。
2014年（第70回）日本顕微鏡学会
写真コンクール 出展作品
撮影条件
- 試料：Cu配線
- 測定装置：集束イオン/電子ビーム加工観察装置 nanoDUE'T® NB5000
- 加速電圧：30 kV
- 倍率：50,000倍
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*: この作品は日本顕微鏡学会主催、「写真コンクール」に出展された作品です。
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